【技术实现步骤摘要】
一种运动台的控制方法、装置、电子设备及存储介质
[0001]本申请涉及控制
,具体而言,涉及一种运动台的控制方法
、
装置
、
电子设备及存储介质
。
技术介绍
[0002]运动台广泛应用与光刻机等半导体生产设备
。
精密运动台在运行时,会发生飞车
、
碰撞等风险,严重时会造成经济损失和人员伤亡,因此必须制定合理的错误处理逻辑来保障工件台
/
掩模台的运行工况
。
技术实现思路
[0003]有鉴于此,本申请的目的在于提供一种运动台的控制方法
、
装置
、
电子设备及存储介质,以避免运动台运动发生异常,保证其工况质量
。
[0004]第一方面,本申请提供了一种运动台的控制方法,运动台设置有运动控制主系统,运动控制主系统包括执行器系统模块
、
轴模块
、
测量系统模块
、
设置点生成器模块和控制器模块,执行器系统模块中至少包括用于驱动执行机构的伺服电机,方法包括:响应于运行信号,按照伺服电机的伺服周期采集执行器系统模块
、
轴模块
、
测量系统模块
、
设置点生成器模块和控制器模块各自的运行数据;根据采集到的运行数据,确定运动台运行是否发生错误并确定错误类型;根据确定出的错误类型,执行对应的错误处理措施
。
[0005]优选的,还包括针对每一确定出 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种运动台的控制方法,所述运动台设置有运动控制主系统,所述运动控制主系统包括执行器系统模块
、
轴模块
、
测量系统模块
、
设置点生成器模块和控制器模块,所述执行器系统模块中至少包括用于驱动执行机构的伺服电机,其特征在于,所述方法包括:响应于运行信号,按照所述伺服电机的伺服周期采集执行器系统模块
、
轴模块
、
测量系统模块
、
设置点生成器模块和控制器模块各自的运行数据;根据采集到的运行数据,确定所述运动台运行是否发生错误并确定错误类型;根据确定出的错误类型,执行对应的错误处理措施
。2.
根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:针对每一确定出的错误,基于该错误对应的运行数据
、
错误类型以及发生时间,生成错误日志并发送至上位机
。3.
根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据采集到的运行数据,确定所述运动台运行是否发生错误并确定错误类型的步骤具体包括:当根据采集到的运行数据,确定运动控制主系统中的硬件失效时,则确定错误类型为驱动错误;当根据采集到的运行数据,确定执行机构的控制反馈通道失效时,则确定错误类型为闭环反馈错误;当根据采集到的运行数据,确定执行器系统不同轴或执行机构运动到限位位置时,则确定错误类型为行程错误
。4.
根据权利要求3所述的方法,其特征在于,当错误类型为驱动错误时,通过以下方式执行错误处理措施:控制子系统错误线上拉,设置伺服电机为禁止状态,设置执行器系统为终止状态,并控制所述子系统错误线置位
。5.
根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当错误类型为闭环反馈错误时,通过以下方式执行错误处理措施:控制急停错误线上拉,通过设置点生成器模块生成急停轨迹,将所述急停轨迹直接发送至执行器系统模块,以控制执行机构工作,开启定时器,并控制所述急停错误线置位
。6.
根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当错误类型为行程错误时,通过以下方式执行错误处理措施:控制急停错误线上拉,设置执行器系统为错误状态,通过设置点生成器模块生成急停轨迹,将所述急停轨迹发送至控...
【专利技术属性】
技术研发人员:李红钢,陈曦,王俊杰,贾闯闯,卢孟,
申请(专利权)人:北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所,
类型:发明
国别省市:
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