本申请提供了一种硅片位置检测装置，其中，该装置包括底座、竖直支架、设置在竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，竖直支架的一端与底座固定连接，竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接...

本发明涉及光路传输技术领域，具体而言，涉及一种精密分光装置，包括密封腔体、调节机构、单向轴节以及用于安装分光镜的安装组件；密封腔体呈长方体，密封腔体的三侧部分别开设有入光口、出光口和分光口，出光口和分光口均安装单向轴节，其中，入光口安装...

本申请提供了一种反力块的回零控制方法及反力装置，该方法包括：在本次移动开始前，获取每个极性传感器输出的当前极性离散值，从目标状态表中获取与所有当前极性离散值对应的当前控制参数；按照当前控制参数控制双并联五连杆模组带动反力块进行本次移动；...

本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种用于大型精密零件翻转的夹持机构，包括两组第一夹持组件和一组第二夹持组件，第一夹持组件包括第一U型基座、第一盖板、第一紧固件、第一调整件、第一垫板和第二垫板；第一U型基座具有第一U型槽，第一...

本发明涉及环境保护技术领域，具体而言，涉及一种用于负压空间的空气净化抽排装置，包括过滤机构和抽排机构，抽排机构包括罩体和抽风模块，罩体内设置有风道，风道的两端口分别为抽风口和排风口，抽风模块设置于风道；过滤机构包括框体及设置于框体内腔的...

本发明涉及环境保护技术领域，具体而言，涉及一种用于负压空间的空气净化抽排装置，包括过滤机构和抽排机构，抽排机构包括罩体和抽风模块，罩体内设置有风道，风道的两端口分别为抽风口和排风口，抽风模块设置于风道；过滤机构包括框体及设置于框体内腔的...

本申请提供了一种平面双五连杆机构的控制方法及控制系统，该方法包括：建立平面双五连杆机构质心的逻辑轴到物理轴的力学解耦矩阵；基于旋转角度、电机转轴半径及曲柄长度确定机械臂的当前位置；利用机械臂的当前位置及机械臂与质心之间的物理关系，确定机...

本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种导向机构及可移动平台。导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将工件台移出预定空间或将工件台移入预定空间，导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨与第二滑轨交叉设置，每一滑动...

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备，所述侧向气浮组件和所述垂向气浮组件均安装于所述连接组件，在所述X向气浮导轨上设置有在X方向上延伸到的第一气浮部，在所述基座上设置有在X方向上延伸...

本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种锁紧定位装置及掩模传输装置，包括驱动机构、定位销、检测机构和限位机构；所述驱动机构安装于所述固定支撑机构，所述驱动机构的驱动端与所述定位销连接，用于驱动所述定位销插入或脱出所述定位槽口，所述...

本申请涉及电镀设备技术领域，尤其是涉及一种电镀夹具柔性密封导电装置及电镀夹具。该电镀夹具柔性密封导电装置包括导电盘部件，导电盘部件包括本体部以及导电针；本体部呈环状，导电针的数量为多个且不小于五个，多个导电针设置于本体部且沿本体部的周向...

本申请提供了一种直流电机驱动控制电路、方法及电子设备，该直流电机驱动控制电路包括电源调理电路、控制电路、隔离放大电路、驱动电路以及反馈电路；电源调理电路的输入端与第一输入电源连接，电源调理电路的输出端与控制电路的输入端连接；控制电路的输...

本申请提供了一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备，方法包括：响应于探针台启动操作，将待测试器件置于可移动承片台上，并通过自动补偿机构完成测试探针与待测试器件之间的对准矫正；通过温控箱控制可移动承片台升高/降低并稳定至目标工艺温度...

本发明涉及无框电机定子安装技术领域，具体而言，涉及一种无框电机定子安装装置及其使用方法，包括丝杠、丝杠螺母、丝杠螺母护套、固定架、导向架、定位销、摇柄和导向杆；丝杠螺母的一端固定设置摇柄、另一端转动连接固定架，丝杠螺母安装于丝杠，且丝杠...

本申请提供了一种运动台全阶段运动轨迹的确定方法和确定装置，包括：获取目标运动台的约束参数；基于约束参数，获得在第一运动阶段下的第一加加速度运动轨迹；基于约束参数，获得在第二运动阶段下运动轨迹多项式系数和第二运动阶段特征时间；基于约束参数...

本申请涉及射频芯片测试技术领域，具体而言，涉及一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统。本发明提供的承片台高低温换热装置，包括：承片台，所述承片台包括制冷腔，所述制冷腔中均布有加热管；所述承片台上设置有用于向所述制冷腔通入制冷工质的出...

本申请涉及半导体电镀设备技术领域，尤其是涉及一种多阳极电镀装置。该多阳极电镀装置包括主体部、多个分隔环以及多个环形阳极；主体部设置有电镀腔室；多个分隔环设置于主体部的底壁上且位于电镀腔室的底部，多个分隔环由内至外顺次间隔套设，以将电镀腔...

本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种掩模对准交接装置，包括固定架，固定架的底部设置用于吸附固定掩模版的吸盘，固定架的四侧分别对应设置有前侧板、后侧板、左侧板和右侧板，固定架朝向前侧板、后侧板、左侧板和右侧板的方向分别为前向、后...

本申请提供了一种吸盘及卡盘，涉及半导体测试设备技术领域，吸盘利用多个同心设置的环形分隔部将主体内的第一腔体分隔为多个第二腔体，并对应每一第二腔体均设置有真空管道，从而能够实现对每一第二腔体的真空度的独立控制。根据本申请提供的吸盘，还在用...

本发明涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种底部照明模块调节装置，包括连接机构、水平向调节机构、Z向调节机构和定位机构；水平向调节机构设置于底部照明模块的底部且用于调整X、Y及Rz；Z向调节机构设置于水平向调节机构的底部且用于调整Z...