一种掩模对准交接装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种掩模对准交接装置，包括固定架，固定架的底部设置用于吸附固定掩模版的吸盘，固定架的四侧分别对应设置有前侧板、后侧板、左侧板和右侧板，固定架朝向前侧板、后侧板、左侧板和右侧板的方向分别为前向、后向、左向和右向；固定架上设置驱动机构，驱动机构与前侧板、后侧板、左侧板和右侧板连接，能够同时驱动前侧板和后侧板相向移动、以及左侧板和右侧板相向移动；前侧板、后侧板、左侧板和右侧板上均固定设置有定位柱，四侧的定位柱能够共同抵接掩模版的四侧以对掩模版水平方向进行定位。本装置能够完成掩模版的对准、固定和交接，并且对准操作简单，整体结构简单。整体结构简单。整体结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模对准交接装置


[0001]本专利技术涉及掩模传输
，具体而言，涉及一种掩模对准交接装置。

技术介绍

[0002]掩模版是曝光工艺不可缺少的物料，掩模版上承载有设计图形，光线透过图形，把设计图形投射在晶圆上。掩模传输是将掩模版从版库加载到掩模台，并且保证一定的上版精度,依靠一种掩模定位装置完成掩模版的对准，从而保证上版精度。现有技术的缺点：
[0003]现有设备掩模版的对准方式，通常在传输系统中安装掩模版位置测量系统，将读取到的掩模版位置偏差传输给上位机，上位机下发位置补偿指令，机械手通过移动补偿掩模版位置偏差，达到掩模版对准的目的，现有技术需要设计位置测量系统、掩模版对准标记和机械手补偿运动轴，对准流程繁琐，结构复杂。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种掩模对准交接装置，其能够完成掩模版的对准、固定和交接，并且对准操作简单，整体结构简单。
[0005]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种掩模对准交接装置，包括固定架，所述固定架的底部设置用于吸附固定掩模版的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模对准交接装置，其特征在于，包括固定架(4)，所述固定架(4)的底部设置用于吸附固定掩模版(1)的吸盘(2)，所述固定架(4)的四侧分别对应设置有前侧板(801)、后侧板(802)、左侧板(803)和右侧板(804)，所述固定架(4)朝向所述前侧板(801)、所述后侧板(802)、所述左侧板(803)和所述右侧板(804)的方向分别为前向、后向、左向和右向；所述固定架(4)上设置驱动机构(6)，所述驱动机构(6)与所述前侧板(801)、所述后侧板(802)、所述左侧板(803)和所述右侧板(804)连接，能够同时驱动所述前侧板(801)和所述后侧板(802)相向移动、以及所述左侧板(803)和所述右侧板(804)相向移动；所述前侧板(801)、所述后侧板(802)、所述左侧板(803)和所述右侧板(804)上均固定设置有定位柱(7)，所述前侧板(801)、所述后侧板(802)、所述左侧板(803)和所述右侧板(804)上的所述定位柱(7)能够共同抵接所述掩模版的四侧以对掩模版水平方向进行定位。2.根据权利要求1所述的掩模对准交接装置，其特征在于，所述驱动机构(6)包括第一气缸(601)、第二气缸(602)、第三气缸(603)和第四气缸(604)，所述第一气缸(601)与所述前侧板(801)连接，所述第二气缸(602)与所述后侧板(802)连接，所述第三气缸(603)与所述左侧板(803)连接，所述第四气缸(604)与所述后侧板(802)连接。3.根据权利要求2所述的掩模对准交接装置，其特征在于，还包括真空吸附机构(3)，所述真空吸附机构(3)包括第一真空管路(301)和第二真空管路(302)，所述第一真空管路(301)与所述第一气缸(601)、所述第二气缸(602)连通，所述第二真空管路(302)与所述第三气缸(603)、所述第四气缸(604)连通。4.根据权利要求3所述的掩模对准交接装置，其特征在于，所述真空吸附机构(3)还包括第三真空管路(303)，所述吸盘(2)设置有真空吸附腔，所述真空吸附腔包...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩楠，赵晨阳，刘嘉玮，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：