温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种掩模对准交接装置，包括固定架，固定架的底部设置用于吸附固定掩模版的吸盘，固定架的四侧分别对应设置有前侧板、后侧板、左侧板和右侧板，固定架朝向前侧板、后侧板、左侧板和右侧板的方向分别为前向、后向、...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。