本申请提供了一种硅片位置检测装置，其中，该装置包括底座、竖直支架、设置在竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，竖直支架的一端与底座固定连接，竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置，且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间，放置台用于承放硅片盒，硅片盒内放置有多个硅片，放置台与移动件连接，在电机的转动下带动移动件移动来控制放置台沿竖直方向运动，以使硅片盒内的多个硅片依次通过可移动空间；控制器根据信号接收器对应的探测时间，确定多个硅片在硅片盒内的放置情况。达到准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片位置检测装置
[0001]本申请涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种硅片位置检测装置。
技术介绍
[0002]在半导体集成电路制造过程中，光刻设备是最重要的设备，光刻设备将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上，然后再进行沉积、刻蚀、掺杂等工艺，最终形成集成电路。在将硅片运输至光刻设备进行曝光前，硅片均存放在硅片盒中，因此，对片盒中硅片的存放状态，包含硅片有无、堆叠、斜插等进行检测，为后道工序进行提供先决条件。
[0003]目前，在现有技术方案均为在片盒侧面安装反射式激光传感器，检测晶圆侧面遮挡时间的办法。具体操作如下：启动片盒升降，激光照射持续照射，激光被晶圆侧面遮挡，反射回传感器，传感器状态可随之由低电平变成高电平，最终通过检测固定片槽位置电平状态和时间计算得硅片的状态。
[0004]但是，激光反射的性能受晶圆侧边表面状态的影响较大，当晶圆侧面光洁度和形状偏差较大时，激光反射强度随之偏差较大，造成传感器检测精度收到较大影响,从而使硅片状态的检查不准确。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种硅片位置检测装置，能够通过控制放置台的移动，使硅片盒内的硅片通过信号发射器和信号接收器之间的可移动空间，并根据控制器所接收到的信号接收器的探测时间确定出多个硅片在所述硅片盒内的放置情况。解决了现有技术中存在的激光反射的性能受晶圆侧边表面状态的影响较大，当晶圆侧面光洁度和形状偏差较大时，激光反射强度随之偏差较大，造成传感器检测精度收到较大影响,从而使硅片状态的检查不准确的问题，达到准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。
[0006]本申请实施例提供了一种硅片位置检测装置，所述装置包括底座、竖直支架、设置在所述竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，述竖直支架的一端与所述底座固定连接，所述竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置、且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间，所述放置台用于承放硅片盒，所述硅片盒内放置有多个硅片，所述放置台与所述移动件连接，在所述电机的转动下带动移动件移动来控制所述放置台沿竖直方向运动，以使所述硅片盒内的多个硅片依次通过所述可移动空间；控制器根据所述信号接收器对应的探测时间，确定所述多个硅片在所述硅片盒内的放置情况。
[0007]可选地，所述硅片盒包括上面板、下面板、第一侧面板和第二侧面板，第一侧面板的第一侧边与上面板的第一侧边固定连接，第一侧面板的第二侧边与下面板的第一侧边固定连接，第二侧面板的第一侧边与上面板的第二侧边固定连接，第二侧面板的第二侧边与下面板的第二侧边固定连接，其中，所述第一侧面板的第一侧边与第一侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，第二侧面板的第一侧边与第二侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，
上面板的第一侧边与上面板的第二侧边为相对的两个侧边，下面板的第一侧边与下面板的第二侧边为相对的两个侧边，在第一侧板的多个预设位置处设置有硅片放置槽，在第二侧板与第一侧板的多个预设位置对齐的位置处设置有硅片放置槽，多个硅片分别放置在第一侧板的多个放置槽和第二侧板的多个放置槽之间所形成的多个插槽中。
[0008]可选地，第一侧板的多个预设位置之间的间距为标准间距值，第二侧板的多个预设位置之间的间距为标准间距值。
[0009]可选地，所述控制器与所述电机连接，其中，所述控制器通过以下方式控制电机转动带动移动件来控制所述放置台沿竖直方向运动：控制电机转动以使所述放置台移动至第一高度；控制电机以预定转动速度和预定转动方向进行转动，带动移动件控制放置台以预定速度沿竖直方向运动；判断所述放置台是否移动至第二高度；若所述放置台移动至第二高度，则控制电机停止转动。
[0010]可选地，所述探测时间包括多个有效信号探测时间段和多个无效信号探测时间段，其中，有效信号探测时间段用于指示在该时间段内有硅片通过所述可移动空间，无效信号探测时间段用于指示在该时间段内没有硅片通过所述可移动空间。
[0011]可选地，所述控制器通过以下方式根据所述信号接收器对应的探测时间，确定每个硅片在所述硅片盒内的放置情况：判断在每个硅片检测时间段内是否包括有效信号探测时间段；针对每个硅片检测时间段，若该硅片检测时间段内不包括有效信号探测时间段，则根据该硅片检测时间段，确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽为空槽。
[0012]可选地，所述控制器还执行以下步骤：针对每个硅片检测时间段，若该硅片检测时间段内包括有效信号探测时间段，则计算所述有效信号探测时间段的时间长度，并判断所述有效信号探测时间段的时间长度是否超过参考时间长度；针对每个硅片检测时间段，若所述有效信号探测时间段的时间长度超过参考时间长度，则确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽内的硅片为叠放放置。
[0013]可选地，所述控制器还执行以下步骤：针对每个硅片检测时间段，若所述有效信号探测时间段的时间长度未超过参考时间长度，则判断所述有效信号探测时间段是否包含于该硅片检测时间段内的参考时间段；若所述有效信号探测时间段包含于该硅片检测时间段内的参考时间段，则确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽内的硅片为正常放置；若所述有效信号探测时间段不包含于该硅片检测时间段内的参考时间段，则确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽内的硅片为错槽放置。
[0014]可选地，所述控制器通过以下步骤确定每个硅片检测时间段：根据所述电机的预定转动速度，确定所述放置台移动速度；根据所述放置台的移动速度和所述标准间距值，确定硅片检测时间段的时间长度；根据每个插槽的位置、硅片检测时间段的时间长度、第一高度和第二高度，确定每个硅片检测时间段。
[0015]可选地，所述控制器还执行以下步骤：判断所述硅片盒内的每个硅片插槽的位置上的硅片是否均为正常放置；若所述硅片盒内的每个硅片插槽的位置上的硅片不均为正常放置，则将所述硅片盒确定为放置异常硅片盒。
[0016]本申请实施例提供的硅片位置检测装置，能够通过控制放置台的移动，使硅片盒
内的硅片通过信号发射器和信号接收器之间的可移动空间，并根据控制器所接收到的信号接收器的探测时间确定出多个硅片在所述硅片盒内的放置情况。解决了现有技术中存在的激光反射的性能受晶圆侧边表面状态的影响较大，当晶圆侧面光洁度和形状偏差较大时，激光反射强度随之偏差较大，造成传感器检测精度收到较大影响,从而使硅片状态的检查不准确的问题，达到准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。
[0017]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片位置检测装置，其特征在于，所述装置包括底座、竖直支架、设置在所述竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，所述竖直支架的一端与所述底座固定连接，所述竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置，且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间，所述放置台用于承放硅片盒，所述硅片盒内放置有多个硅片，所述放置台与所述移动件连接，在所述电机的转动下带动移动件移动来控制所述放置台沿竖直方向运动，以使所述硅片盒内的多个硅片依次通过所述可移动空间；控制器根据所述信号接收器对应的探测时间，确定所述多个硅片在所述硅片盒内的放置情况。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述硅片盒包括上面板、下面板、第一侧面板和第二侧面板，第一侧面板的第一侧边与上面板的第一侧边固定连接，第一侧面板的第二侧边与下面板的第一侧边固定连接，第二侧面板的第一侧边与上面板的第二侧边固定连接，第二侧面板的第二侧边与下面板的第二侧边固定连接，其中，所述第一侧面板的第一侧边与第一侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，第二侧面板的第一侧边与第二侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，上面板的第一侧边与上面板的第二侧边为相对的两个侧边，下面板的第一侧边与下面板的第二侧边为相对的两个侧边，在第一侧面板的多个预设位置处设置有硅片放置槽，在第二面侧板与第一面侧板的多个预设位置对齐的位置处设置有硅片放置槽，多个硅片分别放置在第一侧面板的多个放置槽和第二侧面板的多个放置槽之间所形成的多个插槽中。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，第一侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值，第二侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器与所述电机连接，其中，所述控制器通过以下方式控制电机转动带动移动件来控制所述放置台沿竖直方向运动：控制电机转动以使所述放置台移动至第一高度；控制电机以预定转动速度和预定转动方向进行转动，带动移动件控制放置台以预定速度沿竖直方向运动；判断所述放置台是否移动至第二高度；若所述放置台移动至第二高度，则控制电机停止转动。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测时间包括多个有效信号探测时间段和多个无效信号探测时间段，其中，有效信号探测时间...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁彭刚，马万明，王洪宇，杨树文，于朋扬，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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