一种锁紧定位装置及掩模传输装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种锁紧定位装置及掩模传输装置，包括驱动机构、定位销、检测机构和限位机构；所述驱动机构安装于所述固定支撑机构，所述驱动机构的驱动端与所述定位销连接，用于驱动所述定位销插入或脱出所述定位槽口，所述检测机构用于检测所述定位销是否位于所述定位槽口内；所述定位销插入所述定位槽口后，所述限位机构用于对所述定位销进行限位；其能够对掩模传输装置的旋转机构进行高精度地锁紧定位，且锁紧定位完成后不需要手动拆卸，标定完成后也不需要拆除，并且能够提高标定效率和重复定位精度。并且能够提高标定效率和重复定位精度。并且能够提高标定效率和重复定位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种锁紧定位装置及掩模传输装置


[0001]本专利技术涉及掩模传输
，具体而言，涉及一种锁紧定位装置及掩模传输装置。

技术介绍

[0002]掩模版是掩模传输过程中的重要物料，掩模传输装置负责将未曝光的掩模版从版盒传输到掩模台，再将曝光的掩模版从掩模台传回版盒。而交换版机械手是掩模传输装置的重要组成单元，负责将未曝光的掩模版从取放版机械手传输到掩模台，再将曝光的掩模版从掩模台传输回取放版机械手。在此过程中，需要交换版机械手高效、精确地将掩模版放置在掩模台和取放版机械手的预对准系统捕捉的范围内。
[0003]交换版机械手通过垂向运动和旋转运动实现掩模版在掩模台和取放版机械手的中传输，为了安全起见，当交换版机械手进行垂向运动时，不允许同时进行旋转运动，需要将旋转组件锁紧，避免其运动造成机构损坏。另一方面，交换版机械手需要精确地将掩模版放置在掩模台和取放版机械手的预对准系统捕捉的范围内，因此需要精确地标定出旋转运动0
°
工位位置。
[0004]现有技术的缺点：
[0005]目前使用的锁紧定位装置主要由两部分组成，分别实现锁紧功能和定位功能。其中锁紧装置采用阶梯与凹槽结构进行互锁，定位装置为刚性结构，需要手动进行装卸，标定效率不够高，标定完成后还需要拆除，导致锁紧定位的精度较低、重复定位的精度较低。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种锁紧定位装置，其能够对掩模传输装置的旋转机构进行高精度地锁紧定位，且锁紧定位完成后不需要手动拆卸，标定完成后也不需要拆除，并且能够提高标定效率和重复定位精度。
[0007]本专利技术的另一目的在于提供一种掩模传输装置，其能够对旋转机构高精度地锁紧定位，且锁紧定位完成后不需要手动拆卸，标定完成后也不需要拆除，并且能够提高标定效率和重复定位精度。
[0008]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0009]一种锁紧定位装置，用于对掩模传输装置的旋转机构进行锁紧定位，所述旋转机构包括旋转电机和定位板，所述旋转电机的固定部分固定于固定支撑机构、旋转部分固定于所述定位板，所述定位板的外侧面开设有相对称的定位槽口。
[0010]锁紧定位装置包括驱动机构、定位销、检测机构和限位机构；
[0011]所述驱动机构安装于所述固定支撑机构，所述驱动机构的驱动端与所述定位销连接，用于驱动所述定位销插入或脱出所述定位槽口，所述检测机构用于检测所述定位销是否位于所述定位槽口内；
[0012]所述定位销插入所述定位槽口后，所述限位机构用于对所述定位销进行限位。
[0013]进一步地，还包括曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第一铰接块和第二铰接块，所述第一连杆的一端设置第一铰接块、另一端通过所述第二铰接块与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端与所述固定支撑机构铰接，且所述第二连杆上设置所述定位销；
[0014]所述驱动机构包括伺服电机和偏心轴，所述偏心轴的一端与所述伺服电机的输出轴连接、另一端与所述第一铰接块铰接，所述伺服电机用于带动所述第一铰接块偏心旋转，同时带动所述定位销跟随所述曲柄连杆机构曲线运动而能够插入或脱出所述定位槽口。
[0015]进一步地，所述固定支撑机构包括固定板、第一固定座和第二固定座，所述第一固定座和所述第二固定座均固定设置于所述固定板的底部；
[0016]所述第二固定座与所述第二连杆铰接；
[0017]所述第一固定座包括安装板和连接板，所述安装板和所述连接板相连接后呈L型，所述连接板与所述固定板固定连接，所述安装板的内部开设有第一安装孔；
[0018]所述驱动机构还包括设置于所述偏心轴外侧的第一轴承，且所述第一轴承安装于所述第一安装孔内。
[0019]进一步地，所述第二连杆的内部开设有第二安装孔，所述第二安装孔内安装第二轴承，所述第二轴承内安装第一转轴，所述第二固定座上开设第三安装孔，所述第三安装孔内安装第三轴承，所述第一转轴的另一端安装于所述第三轴承内。
[0020]进一步地，还包括调平机构，所述调平结构设置于所述第二固定座与所述第二连杆之间，且所述调平机构用于保证所述曲柄连杆机构和所述定位销在水平方向运动。
[0021]进一步地，所述调平结构包括调平板和多个调平螺栓，所述调平板的内部开设有穿孔，所述调平板上还贯穿设置多个螺纹孔，所述调平螺栓一一对应安装于所述螺纹孔；
[0022]所述穿孔内安装第四轴承，所述第一转轴穿设并安装于所述第四轴承，且多个所述调平螺栓共同抵接于所述第二固定座。
[0023]进一步地，所述检测机构包括第一感应器和第二感应器；
[0024]所述伺服电机带动所述第一铰接块偏心旋转，且所述第一铰接块在旋转前后具有两个静止状态，第一个静止状态是所述定位销插入至所述定位槽口内时，所述第一铰接块处于锁紧位；第二个静止状态是所述定位销脱出所述定位槽口后，所述第一铰接块处于解锁位；
[0025]所述第一感应器和所述第二感应器均安装于所述安装板，且所述第一感应器用于感应所述第一铰接块是否处于所述锁紧位，所述第二感应器用于感应所述第一铰接块是否处于解锁位。
[0026]进一步地，所述限位机构包括第一缓冲器和第二缓冲器，所述第一缓冲器和所述第二缓冲器均安装于所述连接板，且所述第一缓冲器用于所述第一铰接块处于所述锁紧位时对其限位，所述第二缓冲器用于所述第一铰接块处于所述解锁位时对其限位，同时所述第一缓冲器和所述第二缓冲器也能够防止所述伺服电机失速。
[0027]进一步地，所述偏心轴的一端与所述伺服电机的输出轴连接、另一端为第二转轴，所述第二转轴与所述伺服电机的输出轴同向且不同轴，所述第二转轴的外侧设置有偏心轮；
[0028]所述第一铰接块的内部开设有第四安装孔，所述偏心轮安装于所述第四安装孔
内。
[0029]还提供一种掩模传输装置，包括所述的锁紧定位装置、所述旋转机构和所述固定支撑机构；所述旋转机构包括旋转电机和定位板，所述旋转电机的固定部分固定于所述固定支撑机构、旋转部分固定于所述定位板，所述定位板的外侧面开设有相对称的两个所述定位槽口，其中一个所述定位槽口位于所述旋转电机的0
°
位置，另一个所述定位槽口位于所述旋转电机的180
°
位置，所述锁紧定位装置的所述定位销与其中一个所述定位槽口对应设置。
[0030]相比于现有技术而言，本专利技术的有益效果是：
[0031]当交换版机械手进行垂向运动时，本申请能够通过驱动机构驱动定位销插入旋转机构的定位槽口内实现对旋转机构的锁紧定位，使得旋转机构停止旋转运动，从而提高锁紧定位旋转机构的精度；当需要解锁旋转机构时，再次驱动定位销使其脱出定位槽口即可实现解锁，不需要手动拆卸；另外，旋转机构的定位板上对称设置的两个定位槽口，其中一个位于旋转电机的0
°
位置，另一个位于旋转电机的180
°
位置，当定位销插入0
°
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锁紧定位装置，用于对掩模传输装置的旋转机构(1)进行锁紧定位，所述旋转机构(1)包括旋转电机(101)和定位板(102)，所述旋转电机(101)的固定部分固定于固定支撑机构(3)、旋转部分固定于所述定位板(102)，所述定位板(102)的外侧面开设有相对称的定位槽口(1021)，其特征在于，包括驱动机构(2)、定位销(4)、检测机构(5)和限位机构(6)；所述驱动机构(2)安装于所述固定支撑机构(3)，所述驱动机构(2)的驱动端与所述定位销(4)连接，用于驱动所述定位销(4)插入或脱出所述定位槽口(1021)，所述检测机构(5)用于检测所述定位销(4)是否位于所述定位槽口(1021)内；所述定位销(4)插入所述定位槽口(1021)后，所述限位机构(6)用于对所述定位销(4)进行限位。2.根据权利要求1所述的锁紧定位装置，其特征在于，还包括曲柄连杆机构(7)，所述曲柄连杆机构(7)包括第一连杆(702)、第二连杆(703)、第一铰接块(701)和第二铰接块(704)，所述第一连杆(702)的一端设置第一铰接块(701)、另一端通过所述第二铰接块(704)与所述第二连杆(703)的一端铰接，所述第二连杆(703)的另一端与所述固定支撑机构(3)铰接，且所述第二连杆(703)上设置所述定位销(4)；所述驱动机构(2)包括伺服电机(201)和偏心轴(202)，所述偏心轴(202)的一端与所述伺服电机(201)的输出轴连接、另一端与所述第一铰接块(701)铰接，所述伺服电机(201)用于带动所述第一铰接块(701)偏心旋转，同时带动所述定位销(4)跟随所述曲柄连杆机构(7)曲线运动而能够插入或脱出所述定位槽口(1021)。3.根据权利要求2所述的锁紧定位装置，其特征在于，所述固定支撑机构(3)包括固定板、第一固定座(301)和第二固定座(302)，所述第一固定座(301)和所述第二固定座(302)均固定设置于所述固定板的底部；所述第二固定座(302)与所述第二连杆(703)铰接；所述第一固定座(301)包括安装板(3011)和连接板(3012)，所述安装板(3011)和所述连接板(3012)相连接后呈L型，所述连接板(3012)与所述固定板固定连接，所述安装板(3011)的内部开设有第一安装孔；所述驱动机构(2)还包括设置于所述偏心轴(202)外侧的第一轴承(203)，且所述第一轴承(203)安装于所述第一安装孔内。4.根据权利要求3所述的锁紧定位装置，其特征在于，所述第二连杆(703)的内部开设有第二安装孔(7031)，所述第二安装孔(7031)内安装第二轴承(7032)，所述第二轴承(7032)内安装第一转轴(7033)，所述第二固定座(302)上开设第三安装孔(3021)，所述第三安装孔(3021)内安装第三轴承(3022)，所述第一转轴(7033)的另一端安装于所述第三轴承(3022)内。5.根据权利要求4所述的锁紧定位装置，其特征在于，还包括调平机构(8)，所述调平结构设置于所述第二固定座(302)与所述第二连杆(703)之间，且所述调平机构(8)用于保证...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘颖，关宏武，王浩楠，符瑶，赵东雷，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：