【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆传输设备，尤其是涉及一种用于晶圆传输分系统的接口调试装置及其调试方法。
技术介绍
1、晶圆传输是一种集成电路专用设备的分系统，集成电路专用设备的晶圆传输分系统的接口有两个球形支点，分别由两个连杆机构连接，两个支点通过一个左旋丝杆和一个右旋丝杠驱动升降，左旋丝杆和右旋丝杆通过万向联轴器连接，转动任意一侧的驱动端能够使得左旋丝杆和右旋丝杆同步转动，从而实现两个支点同步升降，结构参见图1所示。
2、晶圆传输分系统集成到整机时或者维修维护时需要其与整机连接或者分离，因此在集成的过程中，需要重新调整两个球形支点的位置保证两者位于同一水平面，但调整精度较差，无法保证其能够恢复至调整前的初始状态，从而影响晶圆传输精度，且需要反复调整，导致浪费时间、效率低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于晶圆传输分系统的接口调试装置及其调试方法，以解决在晶圆传输分系统集成到整机时或者维修维护时将接口上的两个球形支点调整至初始状态的难度大、精度差、耗时长的问题。
2、本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆传输分系统的接口调试装置，晶圆传输分系统包括接口组件和框架，所述接口组件包括两个球形支点，其特征在于，所述用于晶圆传输分系统的接口调试装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述第二定位槽垂直于第一方向的截面形成为V形结构，所述第一方向平行于所述水平基准设置。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述第二定位槽形成为矩形槽结构，所述槽壁为所述矩形槽结构中的长边侧。
4.根据权利要求2所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述支撑...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆传输分系统的接口调试装置，晶圆传输分系统包括接口组件和框架，所述接口组件包括两个球形支点，其特征在于，所述用于晶圆传输分系统的接口调试装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述第二定位槽垂直于第一方向的截面形成为v形结构，所述第一方向平行于所述水平基准设置。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述第二定位槽形成为矩形槽结构，所述槽壁为所述矩形槽结构中的长边侧。
4.根据权利要求2所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述支撑件形成为沿所述第一方向延伸的条形结构，所述第一定位件和所述第二定位件分别设置在所述支撑件长度方向上的两端部。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆传输分系统的接口调试装置，其特征在于，所述支撑件形成有...
【专利技术属性】
技术研发人员：李霖，杨树文，李峥，于朋扬，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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