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本发明涉及晶圆传输设备技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆传输分系统的接口调试装置及其调试方法。用于晶圆传输分系统的接口调试装置包括：支撑件与框架连接；第一定位件上的第一定位槽形成为能够与部分的球形支点仿形贴合的弧面结构；第二定位件上的第二定位...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。