一种用于大型精密零件翻转的夹持机构及半导体设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种用于大型精密零件翻转的夹持机构，包括两组第一夹持组件和一组第二夹持组件，第一夹持组件包括第一U型基座、第一盖板、第一紧固件、第一调整件、第一垫板和第二垫板；第一U型基座具有第一U型槽，第一夹持板或第二夹持板对应置于第一U型槽内，且第一夹持板或第二夹持板的四侧均设置第一垫板；第一U型基座上设置第一调整件，第一调整件与大型精密零件之间设置第二垫板；第二夹持组件用于对第三夹持板进行夹持，且第二夹持组件与第三夹持板的连接处设置有第三垫板和/或第四垫板；其能够在对大型精密零件夹持的同时，能够防止零件损伤，并确保安全可靠。并确保安全可靠。并确保安全可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型精密零件翻转的夹持机构及半导体设备


[0001]本专利技术涉及半导体设备
，具体而言，涉及一种用于大型精密零件翻转的夹持机构及半导体设备。

技术介绍

[0002]对于某半导体专用设备中的大型精密零件，需要专用翻转工装，被翻转部件通过夹持机构与翻转机连接。
[0003]翻转机与被翻转部件的连接，一般通过螺栓固定，这种连接方式可以实现基本的紧固功能。
[0004]现有连接方式，需要使用被翻转部件的螺栓孔，对于此大型精密零件，由于自重过大，易损伤被翻转部件的螺栓孔，并且，在翻转过程中，螺栓连接的摩擦力难以承受大型精密零件自重产生的剪切力，难以保证安全。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于大型精密零件翻转的夹持机构，其能够在对大型精密零件夹持的同时，能够防止零件损伤，并确保安全可靠。
[0006]本专利技术的另一目的在于提供一种半导体设备，其能够在对大型精密零件夹持翻转时，能够防止零件损伤，并确保安全可靠。
[0007]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0008]一种用于大型精密零件翻转的夹持机构，以所述大型精密零件的顶面中心点为原点建立坐标系：X轴、Y轴和Z轴，其中，Z轴为竖直方向，X轴和Y轴为水平方向，所述大型精密零件的两侧关于Y轴对称设置有第一夹持板和第二夹持板，所述大型精密零件的第三侧设置有第三夹持板，所述第三夹持板是关于Y轴对称的轴对称结构，其包括两组第一夹持组件和一组第二夹持组件，所述第一夹持组件包括第一U型基座、第一盖板、第一紧固件、第一调整件、第一垫板和第二垫板；
[0009]所述第一U型基座具有第一U型槽，所述第一U型基座与所述第一盖板通过至少两个所述第一紧固件紧固连接，且所述第一盖板封盖所述第一U型槽的槽口，所述第一夹持板或第二夹持板对应置于所述第一U型槽内，且所述第一夹持板或第二夹持板的四侧均通过所述第一垫板与所述第一U型槽的内壁、所述第一盖板的内侧面贴合；
[0010]所述第一U型基座上设置所述第一调整件，所述第一调整件与所述大型精密零件之间设置所述第二垫板；
[0011]所述第二夹持组件用于对所述第三夹持板进行夹持，且第二夹持组件与所述第三夹持板的连接处设置有第三垫板和/或第四垫板。
[0012]进一步地，所述第一U型基座的所述第一U型槽的槽口朝上设置。
[0013]进一步地，所述第一调整件选用为第一调整螺栓，且所述第一调整螺栓设置为至少两个，所述第一U型槽体的底部并排开设有至少两个第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿X向
贯穿，所述第一螺纹孔与所述第一调整螺栓一一对应设置，且所述第一螺纹孔内安装所述第一调整螺栓，所述第一调整螺栓的螺杆端与所述大型精密零件之间设置所述第二垫板。
[0014]进一步地，所述第一夹持组件还包括第一顶块，所述第一顶块设置于所述第一调整螺栓与所述第二垫板之间，所述第一调整螺栓的螺杆部与所述第一顶块抵接。
[0015]进一步地，所述第二夹持组件包括第二U型基座、第二盖板、第二紧固件、第二调整件、第三垫板、第四垫板和第二顶块；
[0016]所述第二U型基座具有第二U型槽，且所述第二U型槽的槽口朝上或朝下设置，所述第二U型基座与所述第二盖板通过至少两个所述第二紧固件连接，且所述第二盖板封盖所述第二U型槽的槽口，所述第三夹持板对应置于所述第二U型槽内，且所述第二夹持板的四侧分别设置所述第三垫板和所述第四垫板，其中，所述第二夹持板的上侧和下侧对称设置所述第四垫板，所述第二夹持板的另外两侧对称设置所述第三垫板；
[0017]所述第二U型槽内的两侧对称设置所述第二顶块，所述第三垫板位于所述第二顶块与所述第二夹持板之间，所述第二U型基座的两侧关于Y轴对称设置有所述第二调整件，所述第二调整件的一端与所述第二顶块连接。
[0018]进一步地，所述第二紧固件为第二调整螺栓，且所述第二U型基座的两侧均开设至少一个第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿X向贯穿设置，所述第二螺纹孔与所述第二调整螺栓一一对应设置，所述第二螺纹孔内安装所述第二调整螺栓，且所述第二调整螺栓的螺杆部与所述第二顶块抵接。
[0019]进一步地，所述第二U型槽的槽口朝上设置。
[0020]进一步地，所述第一紧固件和所述第二紧固件均选用紧固螺栓。
[0021]还提供一种半导体设备，包括所述的用于大型精密零件翻转的夹持机构，还包括翻转机构和大型精密零件，所述翻转机构的输出轴与所述的用于大型精密零件翻转的夹持机构连接，且用于带动所述大型精密零件绕Ry翻转，Ry为围绕Y轴的旋转方向。
[0022]相比于现有技术而言，本专利技术的有益效果是：
[0023]夹持机构包括两组第一夹持组件和一组第二夹持组件，两组第一夹持组件能够将两侧第一夹持板和第二夹持板夹持固定，第二夹持组件能够将第三夹持板夹持固定，具体地，第一夹持组件的第一U型基座和第一盖板通过第一紧固件固定，当夹持第一夹持板或第二夹持板后，并在其四侧设置第一垫板，防止第一夹持板或第二夹持板与夹持机构硬性接触，避免损伤零件表面，两组第一夹持组件不仅能够对大型精密零件Z向的锁死，同时两组第一U型基座可实现对大型精密零件Y向的粗限位，第一顶块通过第一调整件的轴向(X向)位置调整和移动，直至与大型精密零件的侧面接触，当两组第一夹持组件的两个第一顶块同时顶在大型精密零件的两侧面时，可实现对大型精密零件X向的锁死。第二夹持组件与第三夹持板的连接处设置第三垫板和/或第四垫板，在实现对大型精密零件X向的锁死的同时，还能够防止大型精密零件的表面损伤。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这
些附图获得其他相关的附图。
[0025]图1为本专利技术夹持机构夹持于大型精密零件的俯视结构示意图；
[0026]图2为本专利技术第一夹持组件夹持于第二夹持板的侧视结构示意图；
[0027]图3为本专利技术第一夹持组件夹持于第一夹持板的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术第二夹持组件夹持于第三夹持板的结构示意图；
[0029]图5为本专利技术第一U型基座的结构示意图；
[0030]图6为本专利技术第二U型基座的结构示意图。
[0031]图中：
[0032]1‑
大型精密零件；101
‑
第一夹持板；102
‑
第二夹持板；103
‑
第三夹持板；
[0033]2‑
第一夹持组件；21
‑
第一U型基座；211
‑
第一U型槽；
[0034]22
‑
第一盖板；23
‑
第一紧固件；24
‑
第一调整件；25
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型精密零件翻转的夹持机构，以所述大型精密零件(1)的顶面中心点为原点建立坐标系：X轴、Y轴和Z轴，其中，Z轴为竖直方向，X轴和Y轴为水平方向，所述大型精密零件(1)的两侧关于Y轴对称设置有第一夹持板(101)和第二夹持板(102)，所述大型精密零件(1)的第三侧设置有第三夹持板(103)，所述第三夹持板(103)是关于Y轴对称的轴对称结构，其特征在于，包括两组第一夹持组件(2)和一组第二夹持组件(3)，所述第一夹持组件(2)包括第一U型基座(21)、第一盖板(22)、第一紧固件(23)、第一调整件(24)、第一垫板(25)和第二垫板(26)；所述第一U型基座(21)具有第一U型槽(211)，所述第一U型基座(21)与所述第一盖板(22)通过至少两个所述第一紧固件(23)紧固连接，且所述第一盖板(22)封盖所述第一U型槽(211)的槽口，所述第一夹持板(101)或第二夹持板(102)对应置于所述第一U型槽(211)内，且所述第一夹持板(101)或第二夹持板(102)的四侧均通过所述第一垫板(25)与所述第一U型槽(211)的内壁、所述第一盖板(22)的内侧面贴合；所述第一U型基座(21)上设置所述第一调整件(24)，所述第一调整件(24)与所述大型精密零件(1)之间设置所述第二垫板(26)；所述第二夹持组件(3)用于对所述第三夹持板(103)进行夹持，且第二夹持组件(3)与所述第三夹持板(103)的连接处设置有第三垫板(35)和/或第四垫板(36)。2.根据权利要求1所述的用于大型精密零件翻转的夹持机构，其特征在于，所述第一U型基座(21)的所述第一U型槽(211)的槽口朝上设置。3.根据权利要求2所述的用于大型精密零件翻转的夹持机构，其特征在于，所述第一调整件(24)选用为第一调整螺栓，且所述第一调整螺栓设置为至少两个，所述第一U型槽(211)体的底部并排开设有至少两个第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿X向贯穿，所述第一螺纹孔与所述第一调整螺栓一一对应设置，且所述第一螺纹孔内安装所述第一调整螺栓，所述第一调整螺栓的螺杆端与所述大型精密零件(1)之间设置所述第二垫板(26)。4.根据权利要求3所述的用于大型精密零件翻转的夹持机构，其特征在于，所述第一夹持组件(2)还包括第一顶块(27)，所述第一顶块(27)设置于所述第一调整螺栓与所述第二垫板(26)之间，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙飞，侯得锋，李海彬，赵宏宇，许灿，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：