【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种机器人手和搬送机器人。实施方式的机器人手具备：多个叉主体；和主体支承部，其以多个叉主体相互平行配置的状态支承各叉主体的基部。并且，能够将被搬送物载置在多个叉主体上。在所述机器人手中，叉主体的外周面由曲面形成。【专利说明】 机器人手和搬送机器人
本技术涉及机器人手和搬送机器人。
技术介绍
以往，已知有用于搬送薄板状的被搬送物的搬送机器人，其例如在收纳库和预定的处理装置之间搬送半导体元件制造用晶片或液晶面板用玻璃基板等。一般的搬送机器人具备:多个臂，它们以能够转动的方式相互连结；以及机器人手，其安装在最末端侧臂的末端，始终朝向固定方向并以直线移动。并且，在所述机器人手上载置有被搬送物。用于载置薄板状的被搬送物的机器人手通常是将形成为棒状的2?4根叉主体相互平行地配置而构成的。为了维持刚性并实现轻量化，在所述机器人手中，存在使叉主体形成为中空形状的结构。作为关于上述现有技术的文献，例如存在日本特开2004 - 148476号公报。但是，为了使叉主体形成为中空形状，上述文献中公开的机器人手使用了截面呈四边形的管材。在形成为截面呈四边形的情...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：垂野真，末吉智，原田修，筑本真二，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：实用新型
国别省市：
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