新型固晶机焊臂驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。由平行移动电机将焊臂移动至所需位置后，再由垂直移动电机使焊臂连接座向下移动，再通过设于焊臂本体和吸嘴支架之间的滑动气缸精确调节晶圆吸嘴的位置拾起晶圆进行后续键合操作。通过适当的调节和控制，在平行移动电机在平行移动时，该垂直移动电机使焊臂向下移动到适当的位置，可以避免在平行移动时，垂直移动电机完全空闲状态，减少移动时间，提高焊接效率。

【技术实现步骤摘要】
新型固晶机焊臂驱动装置
本专利技术涉及半导体固晶
，特别涉及一种固晶机用的平移马达与垂直马达分离的新型固晶机焊臂驱动装置。
技术介绍
半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后，由机械手将晶体，如LED晶圆移动到基板对应位置进行焊接。现有的半导体固晶装置中对焊臂进行移动，由于焊臂运动的轨迹只能作二维X-Y座标系内直线移动，平行移动的电机和垂直移动的电机为一体结构，其平移的过程无法进行垂直移动，当平移完成后才能进行垂直移动，使得移动的时间变长，因此影响焊接效率。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种新型固晶机焊臂驱动装置，该新型固晶机焊臂驱动装置可以避免平行移动的电机和垂直移动的电机一体结构时需要分步完动移动动作，其移动时间较长，减少焊臂移动时间，提高焊臂移动效率，进而提高工作效率。为了解决上述问题，本专利技术提供一种新型固晶机焊臂驱动装置，该新型固晶机焊臂驱动装置包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，其特征在于：位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。

【技术特征摘要】
1.新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，其特征在于: 位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：区大公，
申请(专利权)人：深圳市恒睿智达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：