下载新型固晶机焊臂驱动装置的技术资料

文档序号:9713405

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本发明公开一种新型固晶机焊臂驱动装置,包括设有平行移动电机的电机基座,位于该电机基座的端部设有垂直移动电机,该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座,该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂,每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体,所述平行移动电机和垂...
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