布线板及其制造方法技术

技术编号:9409580 阅读:123 留言:0更新日期:2013-12-05 07:15
本发明专利技术提供布线板及其制造方法,该布线板具有高可靠性。布线板(100)具有:层间树脂绝缘层(26a);导体层(31a),其形成在层间树脂绝缘层(26a)上;布线构造体(10),其配置在层间树脂绝缘层(26a)上,具有绝缘层(110)和该绝缘层(110)上的导体图案(111);以及阻焊层(40a),其设置在层间树脂绝缘层(26a)上、导体层(31a)上以及布线构造体(10)上,具有开口部(44),该开口部(44)使得导体层(31a)的至少一部分、以及与导体图案(111)连接的导体层(36a)的至少一部分开放。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供,该布线板具有高可靠性。布线板(100)具有:层间树脂绝缘层(26a);导体层(31a),其形成在层间树脂绝缘层(26a)上;布线构造体(10),其配置在层间树脂绝缘层(26a)上,具有绝缘层(110)和该绝缘层(110)上的导体图案(111);以及阻焊层(40a),其设置在层间树脂绝缘层(26a)上、导体层(31a)上以及布线构造体(10)上,具有开口部(44),该开口部(44)使得导体层(31a)的至少一部分、以及与导体图案(111)连接的导体层(36a)的至少一部分开放。【专利说明】
本专利技术涉及,详细地说,涉及局部地具有高密度布线的。
技术介绍
作为用于安装IC芯片(半导体元件)的多层印刷布线板,公知有如下这样的布线板:该布线板在具有通孔导体的树脂性核心基板上交替地层叠了层间树脂绝缘层和导体层,利用过孔导体将导体层之间连接。随着近年来IC芯片的细微化、高集成化,形成于封装基板的最上层的焊盘数量增多,由于焊盘数量的增多,正在推进焊盘的细间距化。随着这样的焊盘的细间距化,封装基板的布线间距也在快速地细线化(例如,参照专利文献I)。在该布线板中,在其内部局部地形成有高密度的布线。具体地讲,在布线板的层间树脂绝缘层的内部配设有电子部件,该电子部件在由硅、玻璃等耐热性基材构成的热膨胀系数低的基板上,形成有这种高密度的布线层。并且,通过这种构造来应对上述的焊盘细间距化的趋势。专利文献1:国际公开第2007/129545号但是,在该布线板中,与IC芯片连接的精细布线全都形成在耐热性基材上。因此,可能由于布线的形状(体积)等原因而无法得到期望的电气特性。而且,由于在耐热性基材的侧方没有设置布线,因此与热履历相应的树脂的收缩和膨胀等变形增大。因此,容易在耐热性基板上产生应力,伴随于此,可能导致布线的可靠性降低。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的情况而完成的,其目的在于,提供具有高可靠性的布线板。本专利技术的布线板的特征在于,该布线板具有:第I 绝缘层(26a);第I导体图案(31a),其形成在所述第I绝缘层(26a)上;以及布线构造体(10),其配置在所述第I绝缘层(26a)上,具有第2绝缘层(110)和所述第2绝缘层(110)上的第2导体图案(111),设置在所述第I导体图案(31a)上的电极(36c)的上表面和与所述第2导体图案(111)连接的导体层(36a)的上表面位于同一平面上。优选的是,所述第2导体图案(111)的图案宽度比所述第I导体图案(31a)的图案宽度小。优选的是,相邻的所述第2导体图案(111)彼此之间的间隔比相邻的第I导体图案(31a)彼此之间的间隔小。优选的是,所述布线板还具有阻焊层(40a),该阻焊层(40a)设置在所述第I绝缘层(26a)上、所述第I导体图案(31a)上以及所述布线构造体(10)上,具有开口部(44),该开口部(44)使得所述第I导体图案(31a)的至少一部分、以及与所述第2导体图案(111)连接的导体层(36a)的至少一部分开放。优选的是,所述布线构造体(10)还具有--第3绝缘层(120),其形成在所述第2绝缘层(110)上,覆盖所述第2导体图案(111);以及过孔(120a),其与所述第2导体图案(110)连接。优选的是,在所述第I绝缘层(26a)与所述布线构造体(10)之间夹有粘结层(120c)。优选的是,设置在所述第I导体图案(31a)上的电极(36c)、以及与所述第2导体图案(111)连接的所述导体层(36a)作为安装第I半导体元件(50)和第2半导体元件(51)的安装焊盘发挥功能。优选的是,所述安装焊盘具有:第I焊盘(36e),其与所述第I半导体元件(50)连接;以及第2焊盘(36f),其与所述第2半导体元件(51)连接,所述第I焊盘(36e)彼此之间的间隔比所述第2焊盘(36f)彼此之间的间隔小。优选的是,所述第2导体图案(111)是连接所述第I半导体元件(50)与所述第2半导体元件(51)的信号线。优选的是,所述第2导体图案(111)的L/S(线宽间距)为I μ m/? μ m?5 μ m/5 μ m。优选的是,在所述第I绝缘层(26a)上形成有开口部(45),所述布线构造体(10)收纳在所述开口部(45)中。 优选的是,在除了收纳所述布线构造体(10)的所述开口部(45)以外的所述第I绝缘层(26a)上形成有阻焊层。本专利技术的第2观点的布线板的制造方法的特征在于,具有如下步骤:在第I绝缘层(26a)上形成第I导体图案(31a);在所述第I绝缘层(26a)上配置具有第2绝缘层(110)和所述第2绝缘层(110)上的第2导体图案(111)的布线构造体(10);在所述第I绝缘层(26a)上、所述第I导体图案(31a)上以及所述布线构造体(10)上形成阻焊层(40a),该阻焊层(40a)具有开口部(44),该开口部(44)使得所述第I导体图案(31a)的至少一部分、以及与所述第2导体图案(110)连接的导体层(36a)的至少一部分开放。优选的是,还具有在所述第I绝缘层(26a)上形成开口部(45)的步骤,当配置所述布线构造体(10)时,将所述布线构造体(10)配置到所述第I绝缘层(26a)上的所述开口部(45)内。根据本专利技术,能够提供具有高可靠性的布线板。【专利附图】【附图说明】图1A是示出使用了本专利技术的第I实施方式的布线板的封装基板的剖视图(下侧的图示出了作为上侧的图的要部的区域A的放大剖视图)。图1B是详细地示出使用了第I实施方式的布线板的封装基板的剖视图。图2是从Z2方向观察图1A时的俯视图。图3是示出第I实施方式的布线板的要部的图,是放大地示出图1A和图1B的一部分的剖视图(下侧的图示出了作为上侧的图的要部的区域B的放大剖视图)。图4是示出第I实施方式的布线构造体的制造方法的流程图。图5A是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5B是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5C是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5E是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5F是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5G是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图5H是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图51是说明图4所示的布线构造体的制造方法的工序图。图6是示出第I实施方式的布线板的制造过程的流程图。图7A是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7B是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7C是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7D是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7E是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7F是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7G是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7H是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图71是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图(下侧的图示出了作为上侧的图的要部的区域C的放大剖视图)。图7J是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7K是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7L是说明图6所示的布线板的制造方法的工序图。图7M本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种布线板,其特征在于,该布线板具有:第1绝缘层;第1导体图案,其形成在所述第1绝缘层上;以及布线构造体,其配置在所述第1绝缘层上,具有第2绝缘层和所述第2绝缘层上的第2导体图案,设置在所述第1导体图案上的电极的上表面和与所述第2导体图案连接的导体层的上表面位于同一平面上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:闲野义则高桥延也中入久幸伊井明日香
申请(专利权)人:揖斐电株式会社
类型:发明
国别省市:

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