形成具有提升式源极和漏极区的半导体设备的方法及对应的半导体设备技术

技术编号:9336754 阅读:75 留言:0更新日期:2013-11-13 17:29
本发明专利技术涉及形成具有提升式源极和漏极区的半导体设备的方法及对应的半导体设备,所述形成具有提升式源极和漏极区的半导体设备是通过:形成柵极电极结构于半导体基板上,形成在该柵极电极结构旁边的第一间隔体结构,在该柵极电极结构两侧形成于该半导体基板的暴露表面上方的半导体层结构借此形成对于该半导体基板的该暴露表面向该柵极电极下斜的层部,以及形成于该第一间隔体结构上方的第二间隔体结构,其中该第二间隔体结构覆盖该下斜层部的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于形成具有提升式源极和漏极区的半导体设备的方法,该方法包括:形成柵极电极于半导体基板上;形成配置于该柵极电极旁边的第一间隔体结构;在该柵极电极两侧形成于该半导体基板的暴露表面上方的半导体层,借此形成对于该半导体基板的该暴露表面向该柵极电极下斜的层部;以及形成于该第一间隔体结构上方的第二间隔体结构,其中,该第二间隔体结构覆盖该下斜层部的至少一部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:J·亨治尔S·拜尔O·卡伦西S·弗莱克豪斯基
申请(专利权)人:格罗方德半导体公司
类型:发明
国别省市:

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