【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洗装置，该基板清洗装置包括：第一处理室，在所述第一处理室中通过供给处理溶液而在基板上执行液体处理过程；第二处理室，在所述第二处理室中在所述基板上执行干燥处理；以及传送单元，其在所述第一处理室与所述第二处理室之间传送所述基板，其中所述第一处理室包括：液体处理壳体，其提供空间，在所述空间中在所述基板上执行液体处理过程；旋转卡盘，其在所述液体处理壳体内支撑所述基板；以及液体供给件，其将所述处理溶液供给到通过所述旋转卡盘支撑的所述基板上，其中所述第二处理室包括：干燥壳体，其提供空间，在所述空间中干燥所述基板；基板支撑件，其在所述干燥壳体内支撑所述基板；以及加热器，其加热所述基板。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金裕桓，姜秉万，吴世勋，金娟準，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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