【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，更具体地，涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，所述设备和方法能够检查轨道的安装状态，以确保转运车辆的轨道按照规定安装。
技术介绍
1、为了提高半导体制造的效率，引入并使用了用于改进通过半导体制造设施执行的各种工艺(例如曝光、沉积、蚀刻、离子注入、清洁等)的技术，以及用于在半导体制造设施之间更有效地转移物品(例如用于存储晶圆的容器、前开式晶圆传送盒(foup)、用于存储光罩(reticle)的光罩盒(pod)等)的设备。例如，一种物品转运设备已被广泛使用，所述物品转运设备包括配置为在沿着半导体制造设施天花板一侧提供的转运路径移动时转运物品的天车搬运系统(oht)。
2、包括oht的物品转运设备可以包括：提供转运路径的行进轨道、布置为沿着行进轨道行进的转运车辆、以及布置在转运车辆下方的提升装置。提升装置可以支撑要被转运的物品，并且提升装置可以旋转物品，在水平方向上移动物品，或者在竖直方向上提升和降低物品，以将物品放置在物品储存架上。
技术实现思路
1、然而，传统地，当转运车辆的轨道第一次安装或者在使用过程中维修时，工人除了标准杆或基准夹具之外，还需要分别携带各种间隙规、定标器、直尺等，以非常不舒服的姿势手动测量安装在天花板上的轨道。
2、这种通过人工测量轨道的传统方法是基于手动读取标尺，并且具有许多问题，例如工人之间的误差大、工作程序繁琐以及由于工人不舒适的姿势而导致的耗时工作。
3、因此
4、根据本公开的一个方面，上述和其他目的可以通过提供一种用于测量转运车辆的轨道的设备来实现。所述设备可以包括：主体，对应于转运车辆的轨道形成；检测器，提供到主体并且布置为与轨道接触；以及位移测量器，配置为测量与轨道接触的检测器的位移。
5、根据本公开，检测器可以包括：可移动构件，具有设置为与轨道接触的接触表面；导杆，具有前端、中间部分和后端，其中，前端提供到可移动构件，中间部分布置为沿着在主体中形成的导孔在第一方向上来回移动，并且后端连接到位移测量器；弹性弹簧，布置在可移动构件和主体之间，以在可移动构件和轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
6、根据本公开，检测器还可以包括方向切换器，方向切换器设置在导杆和位移测量器之间，并且配置为将导杆在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动。
7、根据本公开，方向切换器可以包括：斜块(angled block)，布置在导杆后端处以与导杆一起移动，斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；滚轮，布置为与斜块的倾斜表面滚动接触；以及位移测量杆，设置为可转动地支撑滚轮，并且连接到位移测量器。
8、根据本公开，转运车辆是天车搬运系统(oht)的车辆，其中，轨道可以包括：至少一个上轨道，对应于转运车辆的上轮；至少一个左轨道，对应于转运车辆的左轮；以及至少一个右轨道，对应于转运车辆的右轮。
9、根据本公开，主体可以包括：水平构件，在基本上水平的位置悬挂在左轨道和右轨道上，以测量左轨道和右轨道的安装状态；以及竖直构件，在基本上竖直位置从水平构件向上突出，以测量上轨道的安装状态。
10、根据本公开，检测器可以包括：第一检测器，安装在竖直构件上以接触上轨道的侧表面，以测量上轨道的侧表面的安装状态；以及第二检测器，安装在水平构件上以接触左轨道的侧表面或右轨道的侧表面，以测量左轨道和右轨道之间的安装间隔。
11、根据本公开，水平构件的一端可以提供有：第一参考接触表面，布置为与右轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考接触表面，布置为与右轨道或左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考。水平构件的相反端可以提供有搁置在左轨道或右轨道的顶表面上的搁置表面(resting surface)，其中，第二检测器可以设置在搁置表面的下侧。
12、根据本公开，设备还可以包括水平倾斜仪，水平倾斜仪布置在水平构件上，并且配置为根据左轨道或者右轨道的安装高度来测量水平构件相对于水平方向的倾角。
13、根据本公开，检测器还可以包括第三检测器，第三检测器安装在竖直构件上，并且设置为接触上轨道的底表面，以测量上轨道的底表面的安装状态。
14、根据本公开，检测器可以包括：滚动轮，被促使与轨道滚动接触，以能够测量运动；可移动构件，设置为支撑滚动轮，同时允许滚动轮自由转动；导杆，具有提供到可移动构件的前端和被布置为沿着在主体中形成的导孔在第一方向上来回移动的中间部分；以及弹性弹簧，布置在可移动构件和主体之间，以在滚动轮和轨道之间接触的方向上施加弹性回复力。
15、根据本公开，检测器还可以包括方向切换器，方向切换器设置在可移动构件和位移测量器之间，以将可移动构件在第一方向上的移动切换为在不同于第一方向的第二方向上的移动，其中，方向切换器可以包括：斜块，布置在可移动构件上，以与可移动构件一起移动，斜块具有形成在一侧上的倾斜表面；滚轮，布置为与斜块的倾斜表面滚动接触；以及位移测量杆，设置为可转动地支撑滚轮，并且连接到位移测量器。
16、根据本公开，主体的水平构件的一端可以提供有：第一参考轮，布置为与右轨道或者左轨道的顶表面紧密接触，以用作高度测量的参考；以及第二参考轮，布置为与右轨道或者左轨道的侧表面紧密接触，以用作间隔测量的参考，其中，水平构件的相反端可以提供有搁置在左轨道或者右轨道的顶表面上的搁置轮(resting wheel)。
17、根据本公开，设备还可以包括控制器，控制器配置为将由位移测量器测量的位移的值与参考范围进行比较，并且当该值在参考范围之外时，在显示器上显示该位移的值。
18、根据本公开，显示器可以包括：低状态通知器，配置为当测量的位移的值低于参考范围时被激活以便于操作人员目视检查；正常状态通知器，配置为当测量的位移的值在参考范围内时被激活；以及超状态通知器，配置为当测量的位移的值高于参考范围时被激活。
19、根据本公开，设备还可以包括位置传感器，位置传感器配置为感测由检测器接触的轨道的位置，其中，控制器可以将由位置传感器感测的位置与由位移测量器测量的位移相匹配。
20、根据本公开，位置传感器可以包括摄像机、识别装置、gps传感装置、测距轮、激光测距仪和超声波测距仪中的至少一个，识别装置配置为识别轨道上的标识符(包括条形码、qr码、rfid、磁铁或者半导体芯片)，测距轮安装在主体上，以便于可滚动地与轨道接触，并且测距轮配置为基于直径和转数来感测从参考点行进的距离，激光测距仪配置为使用反射的激光来测量距离，超声波测距仪配置为使用本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述检测器包括：
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述检测器还包括：
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述方向切换器包括：
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆，
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述主体包括：
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述检测器包括：
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述水平构件的一端提供有：
9.根据权利要求8所述的设备，还包括：
10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述检测器还包括：
11.根据权利要求1所述的设备，所述检测器包括：
12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述检测器还包括：
13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述主体的水平构件的一端提供有：
14.根据权利要求1所述的设备，还包括：
15.根据权利要求14所述的设备，其
16.根据权利要求14所述的设备，还包括：
17.根据权利要求16所述的设备，其中，所述位置传感器包括摄像机、识别装置、GPS传感装置、测距轮、激光测距仪和超声波测距仪中的至少一个，所述识别装置配置为识别轨道上的标识符，所述标识符包括条形码、QR码、RFID、磁铁或者半导体芯片，所述测距轮安装在所述主体上以便于可滚动地与所述轨道接触并且配置为基于直径和转数来感测从参考点行进的距离，所述激光测距仪配置为使用反射的激光来测量距离，所述超声波测距仪配置为使用声波或超声波来测量距离。
18.一种测量转运车辆的轨道的方法，所述方法包括：
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述第二位移信息的所述测量包括：
20.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述检测器包括：
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述检测器还包括：
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述方向切换器包括：
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述转运车辆是天车搬运系统(oht)的车辆，
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述主体包括：
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述检测器包括：
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述水平构件的一端提供有：
9.根据权利要求8所述的设备，还包括：
10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述检测器还包括：
11.根据权利要求1所述的设备，所述检测器包括：
12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述检测器还包括：
13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述主体...
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