【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，更具体地，涉及一种用于测量转运车辆的轨道的设备和方法，所述设备和方法能够检查轨道的安装状态，以确保转运车辆的轨道按照规定安装。
技术介绍
1、为了提高半导体制造的效率，引入并使用了用于改进通过半导体制造设施执行的各种工艺(例如曝光、沉积、蚀刻、离子注入、清洁等)的技术，以及用于在半导体制造设施之间更有效地转移物品(例如用于存储晶圆的容器、前开式晶圆传送盒(foup)、用于存储光罩(reticle)的光罩盒(pod)等)的设备。例如，一种物品转运设备已被广泛使用，所述物品转运设备包括配置为在沿着半导体制造设施天花板一侧提供的转运路径移动时转运物品的天车搬运系统(oht)。
2、包括oht的物品转运设备可以包括：提供转运路径的行进轨道、布置为沿着行进轨道行进的转运车辆、以及布置在转运车辆下方的提升装置。提升装置可以支撑要被转运的物品，并且提升装置可以旋转物品，在水平方向上移动物品，或者在竖直方向上提升和降低物品，以将物品放置在物品储存架上。
技术实...
【技术保护点】
1.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述检测器包括：
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述检测器还包括：
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述方向切换器包括：
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述转运车辆是天车搬运系统(OHT)的车辆，
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述主体包括：
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述检测器包括：
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述水平构件的一端提供有：
9.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种用于测量转运车辆的轨道的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述检测器包括：
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述检测器还包括：
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述方向切换器包括：
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述转运车辆是天车搬运系统(oht)的车辆，
6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述主体包括：
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述检测器包括：
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述水平构件的一端提供有：
9.根据权利要求8所述的设备，还包括：
10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述检测器还包括：
11.根据权利要求1所述的设备，所述检测器包括：
12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述检测器还包括：
13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述主体...
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