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本发明提供了一种制造半导体基板的装置和方法，更具体地，提供了一种清洗基板的装置和方法。基板清洗装置包括：第一处理室，在该第一处理室中通过在基板上提供处理溶液执行液体处理过程；第二处理室，在该第二处理室中在基板上执行干燥处理；以及传送单元，其...
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