【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多功能硅片倒角机,包括一个机架,其特征在于:所述的机架上设置有一个硅片承载机构、一个磨削机构和一个加载机构,所述的硅片承载机构包括一个低速主轴,所述的低速主轴与一个低速驱动机构连接,低速主轴上同轴设置有一个靠模和一个硅片吸盘,所述的靠模和所述的硅片吸盘分别与低速主轴固定,所述的磨削机构包括一个摆臂,所述的摆臂的中部通过一个摆臂轴连接在机架上,摆臂的一端设置有一个砂轮驱动轴,所述的砂轮驱动轴与一个高速驱动机构连接,砂轮驱动轴上固定设置有砂轮,砂轮驱动轴的轴向延长线上设置有一个滚轮,所述的滚轮的径向平面平行于砂轮的径向平面、靠模的径向平面、硅片吸盘的径向平面和摆臂的摆动平面,滚轮通过一个滚轮轴设置在一个滚轮支架上,所述的滚轮支架与摆臂相对固定,滚轮与靠模相切,砂轮与硅片吸盘相邻,所述的加载机构包括一个连接在摆臂上的加力机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:过建平,李继光,
申请(专利权)人:上海光炜电子材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。