一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片倒角设备
，尤其是一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置。
技术介绍
当前，企业在对硅片进行倒角时采用的夹持装置为电磁式，这种夹持装置结构比较复杂，而且维修困难，价格较昂贵，存在不足。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，为克服上述的不足，采用真空夹持的方式，这种方式不仅结构简单，易于维修，而且性价比高。本技术的技术方案：一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，包括电机、蜗杆、蜗轮、转轴、转体、转盘；其中：电机与蜗杆同轴连接，蜗杆与蜗轮啮合连接，蜗轮通过转轴与转体固定连接，转体与转盘固定连接，转盘边缘设有外支撑环，转盘中部与内支撑环固定连接，内支撑环与密封环固定连接，转盘内部设有出气口，出气口与接头之间设有密封垫圈，接头通过排气管与真空泵连通。一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，其中：密封环采用硅胶材质。一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，其中：内支撑环内部设有通孔。一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，其中：转体内部设有排气口。本技术的优点在于：本装置采用真空夹持的方式，这种方式不仅结构简单，易于维修，而且性价比高。附图说明图1为本技术的结构示意简图。附图标记：电机1、蜗杆2、蜗轮3、转轴4、转体5、转盘6、外支撑环7、内支撑环8、密封环9、通孔10、出气口11、密封垫圈12、接头13、真空泵14、排气管15、排气口16。具体实施方式实施例1、一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，包括电机1、蜗杆2、蜗轮3、转轴4、转体5、转盘6；其中：电机1与蜗杆2同轴连接，蜗杆2与蜗轮3啮合连接，蜗轮3通过转轴4与转体5固定连接，转体5与转盘...
【技术保护点】
一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，包括电机（1）、蜗杆（2）、蜗轮（3）、转轴（4）、转体（5）、转盘（6）；其特征在于：电机（1）与蜗杆（2）同轴连接，蜗杆（2）与蜗轮（3）啮合连接，蜗轮（3）通过转轴（4）与转体（5）固定连接，转体（5）与转盘（6）固定连接，转盘（6）边缘设有外支撑环（7），转盘（6）中部与内支撑环（8）固定连接，内支撑环（8）与密封环（9）固定连接，转盘（6）内部设有出气口（11），出气口（11）与接头（13）之间设有密封垫圈（12），接头（13）通过排气管（15）与真空泵（14）连通。
【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角机用硅片真空夹持装置，包括电机（1）、蜗杆（2）、蜗轮（3）、转轴（4）、转体（5）、转盘（6）；其特征在于：电机（1）与蜗杆（2）同轴连接，蜗杆（2）与蜗轮（3）啮合连接，蜗轮（3）通过转轴（4）与转体（5）固定连接，转体（5）与转盘（6）固定连接，转盘（6）边缘设有外支撑环（7），转盘（6）中部与内支撑环（8）固定连接，内支撑环（8）与密封环（9）固定连接，转盘（6）内部设有出气口（11）...
【专利技术属性】
技术研发人员：支秉旭，
申请(专利权)人：江西大杰新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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