【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种设备前端装置，其特征在于，包括：至少一个装载单元、控制单元和物料运送单元，所述的控制单元控制装载有硅片盒的所述装载单元升降，将所述硅片盒传送给所述物料运送单元，以及将所述物料运送单元上的硅片盒卸下；其中，当需要搬送硅片盒时，所述装载单元用于通过自身升降使硅片盒处于可被所述物料运送单元抓放到的位置上，以使所述物料运送单元完成对所述硅片盒的搬送；当不需要搬送硅片盒时，所述装载单元位于待命的位置上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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