自动化物料传输系统及其方法技术方案

本发明专利技术公开了一种自动化物料传输系统及其方法，属于物料传输领域。该系统包括：存储设备、导轨、物料输送单元、位置传感器和传动单元。存储设备的存储单元中分层存储有物料；物料输送单元存取物料并沿着导轨行驶；位置传感器确定物料输送单元在导轨上的第一位置；传动单元将存取的物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向对应。本发明专利技术中将物料分为多层存储在存储单元中，当需要存取时通过位置传感器控制物料输送单元在导轨上的位置，并由传动单元将存取的物料推送到第二位置，使物料输送单元进行存取操作，降低了物料的生产成本，提高了硅片的搬送效率。

【技术实现步骤摘要】
自动化物料传输系统及其方法
本专利技术属于物料传输领域，具体地说，涉及一种自动化物料传输系统及其方法。
技术介绍
随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行传输的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料传输系统(AutomatedMaterialHandlingSystems，以下简称：AMHS)相对于人力化的物料传输来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。图8为现有技术中自动化物料传输系统的结构示意图。如图8所示，该自动化物料传输系统主要包括：存储单元STOCKER801和升降机子系统802。其中，存储单元STOCKER801设有至少一个输入口811、至少一个输出口821，存储单元STOCKER801中放置有盒式容器803，在盒式容器803存放有物料(WorkInProduct，以下简称WIP)如硅片。升降机子系统802包括设置在存储单元ST本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动化物料传输系统，其特征在于，包括：存储设备，包括至少一个存储单元，所述存储单元中分层存储有物料；导轨，与所述物料的生产区域的主导轨一体，并设置在所述存储设备外围侧；物料输送单元，用于存取所述物料并沿着所述导轨行驶以传输存取的所述物料；位置传感器，用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置；传动单元，用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向对应。

【技术特征摘要】
1.一种自动化物料传输系统，其特征在于，包括：存储设备，包括至少一个存储单元，所述存储单元中分层存储有物料，所述存储单元中设置有存储位，用于存放装载物料的容纳单元；导轨，与所述物料的生产区域的主导轨一体，并设置在所述存储设备外围侧；物料输送单元，用于存取所述物料并沿着所述导轨行驶以传输存取的所述物料；位置传感器，用于确定所述物料输送单元在所述导轨上的第一位置；传动单元，用于将存取的所述物料在存放位置与第二位置之间推送传递，所述第二位置与所述第一位置在竖直方向对应；其中，同一层的所有所述存储位共享设置有一存取门，同一层的所有所述存储位共享设置一所述传动单元或同一层的每个所述存储位单独设置一所述传动单元，或者，同一层的每个所述存储位单独设置有一存取门，同一层的每个所述存储位单独设置一所述传动单元。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，同层的所有所述容纳单元共享设置一所述存储位，或者，同层的每个所述容纳单元单独设置一所述存储位。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述容纳单元为前端开口片盒和/或标准机械界面盒。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述导轨设置在所述存储设备的单侧或者两侧。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：