【技术实现步骤摘要】
用于自动化物料传输系统的输送车
本专利技术涉及半导体集成电路物料输送设备
,尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的输送车。
技术介绍
随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不仅会降低效率,还存在搬运人员人身伤害的可能。同时,半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛,自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。现有技术中,用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统,其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备(STOCKER)和一个或多个空中升降机输送车(Overhead Hoist Transport,简称0HT),用于在娃片制造区域的各工位之间传送娃片。存放在STOCKER中的娃片被装入盒式容器,例如前端开口片盒(Front Opening Unified Pod,简称F0UP),随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。然而,输送车的重量一般在上百公斤,大重量导致其启动和制动需要耗费较多能源和时间,频繁的启动和制动也会对输送车本身以及轨道造成一定损伤。
技术实现思路
本专利技术的目的在于弥补上述现有技术的不足,提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车。为实现上述目的,本专利技术提供一种用于自动化物料传输系统的输送车,其包括:车身,具有车壳;车轮,设于车身顶部,车身 ...
【技术保护点】
一种用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于,其包括:车身,具有车壳;车轮,设于车身顶部,车身通过车轮悬吊于系统的轨道上并行使;升降机构,设于车身底部并可向下伸缩;取放机构,设于升降机构下方末端,用于取放硅片盒;以及控制单元;其中,该车壳在面相输送车前进和后退方向的两个侧面为前侧面与后侧面,该前侧面与后侧面上分别具有至少一个入风口,该车身底面的车壳具有至少一个出风口,该至少一个入风口与该出风口连通。
【技术特征摘要】
1.一种用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于,其包括: 车身,具有车壳; 车轮,设于车身顶部,车身通过车轮悬吊于系统的轨道上并行使; 升降机构,设于车身底部并可向下伸缩; 取放机构,设于升降机构下方末端,用于取放硅片盒;以及控制单元; 其中,该车壳在面相输送车前进和后退方向的两个侧面为前侧面与后侧面,该前侧面与后侧面上分别具有至少一个入风口,该车身底面的车壳具有至少一个出风口,该至少一个入风口与该出风口连通。2.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该车身底面的车壳具有至少两个出风口,该车壳前侧面上的入风口与后侧面上的入风口与不同的出风口连通。3.根据权利要求2所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹哲坚,
申请(专利权)人:上海集成电路研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:
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