用于传送基板的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于传送基板的装置。所述装置包括：真空室；托盘，用于在所述真空室中传送所述基板；上部传送单元，用于向所述托盘的上部传递驱动力而不接触所述托盘的上端部；相对运动容许单元，耦合至所述托盘的下端部并可相对于所述托盘运动；以及多个引导单元，用于接触所述相对运动容许单元并引导所述托盘的运动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于传送基板的装置，更具体而言，涉及一种能够通过上面放置有基板的托盘而在真空室中传送基板的装置，所述装置包括用于控制基板传送速度的加速/减速单元。
技术介绍
—般而言,用于制造液晶显示器(liquid crystal display ;LCD)器件、等离子体显不面板(plasma display panel ；PDP)器件、场致发射显不器(field emission display ；FED)器件、电致发光显示器(electro luminescence display ;ELD)器件或类似的平板显示器(flat panel display ；FPD)器件的大多数工艺均是对基板进行。在用于制造平板显示器器件的此种工艺中，多次重复进行沉积工艺、光刻工艺及蚀刻工艺，并涉及许多其他工艺，例如清洁、粘合、切割等。因此，在执行每种工艺时，须装载或卸载基板。为装载及卸载基板，已考虑使用同轴型方法(in-line type method),在同轴型方法中，穿过腔室来垂直地传送上面放置有基板的托盘。图I为用于传送基板的传统装置的剖视图，图2为图I的正视图。如图I及图2所示，用于传送基板的传统装置包括腔室I、上面放置有基板S的托盘2、以及与托盘2的下端部相接触并向托盘2传递驱动力的驱动滚轮3。驱动滚轮3由电动机4带动旋转并因此向托盘2传递驱动力。同时，提供使用磁力来引导托盘2的引导单元Ia及2a，以便可防止垂直运动的托盘2坠落。具体而言，托盘永久磁铁2a设置于托盘2的上端部上，且腔室永久磁铁Ia在腔室I内邻近托盘永久磁铁2a而设置。此时,托盘永久磁铁2a与腔室永久磁铁Ia的极性不同，并因此相互吸引而不接触，从而可防止托盘2在被传送时坠落。换言之，用于传送基板的传统装置采用如下方法其中排列于腔室I的下侧中的驱动滚轮3与托盘2的下端部相互接触，且通过驱动滚轮3的旋转力来移动托盘2。然而，在用于传送基板的传统装置中，利用驱动滚轮3与托盘2的下端部之间的接触来传递驱动力，因此，托盘2与驱动滚轮3之间的滑动可引起失配。换言之，在传送基板S时，托盘2与驱动滚轮3可能不在正常位置上相互接触，从而会增加缺陷并降低生产力。同样，在用于传送基板的传统装置中，托盘2是在与用于传递驱动力的驱动滚轮3相接触的同时被传送，因而颗粒可具有有害的作用。此外，在用于传送基板的传统装置中，如果托盘2的加速/减速速度升高以通过快速地传送托盘2来减少单件工时(tact time),则当使托盘2加速或减速时会出现因驱动滚轮3与托盘2的下端部之间滑动而引起的问题，从而使托盘2加速/减速的时间变长，这是因为托盘2自期望的位置偏离，且随着驱动滚轮3与托盘2的下端部之间的摩擦增大而产生异物(即，颗粒)。
技术实现思路
本专利技术的一个方面是提供一种用于传送基板的装置，在该装置中可向托盘传递驱动力而不发生接触，即使托盘偏离正确的位置，托盘也可快速地返回至其初始位置，并可防止在传送托盘时产生颗粒。本专利技术的另一方面是提供一种用于传送基板的装置，在该装置中，用于通过电磁力来增大/减小托盘传送速度的加速/减速单元邻近所述托盘，因而可增大托盘的传送速度并可防止异物产生。根据本专利技术的一个方面，提供一种用于传送基板的装置，所述装置包括真空室； 托盘，用于在所述真空室中传送所述基板；上部传送单元，用于向所述托盘的上部传递驱动力而不接触所述托盘的上端部；相对运动容许单元，耦合至所述托盘的下端部并可相对于所述托盘运动；以及多个引导单元，用于接触所述相对运动容许单元并引导所述托盘的运动。所述相对运动容许单元可包括旋转本体,所述旋转本体是可相对旋转地稱合至所述托盘。所述旋转本体可包括托盘支撑轴，耦合至所述托盘的所述下端部；旋转管，用于在其中容置所述托盘支撑轴，并具有与所述引导单元相接触的外表面；以及轴承，具有耦合至所述托盘支撑轴的内圆周及耦合至所述旋转管的外圆周。所述引导单元可包括引导滚轮，所述引导滚轮具有引导表面，所述引导表面具有曲率，所述曲率的直径随着接近所述引导表面的中心而减小，且所述旋转管的曲率小于所述引导滚轮的所述引导表面的所述曲率。所述引导单元可包括引导滚轮，所述引导滚轮具有引导表面，所述引导表面具有曲率，所述曲率的直径随着接近所述引导表面的中心而减小。所述上部传送单元可包括上部永久磁铁，设置于所述托盘的所述上端部上；以及上部电磁铁，邻近所述上部永久磁铁而设置于所述真空室内。所述上部传送单元可包括上部永久磁铁，设置于所述托盘的所述上端部上；以及上部电磁铁，邻近所述上部永久磁铁而设置于所述真空室外。所述装置还可包括安装槽，所述安装槽邻近所述托盘的所述上端部而自所述真空室的外壁上的外表面凹陷，所述上部电磁铁嵌入于并安装于所述安装槽中。所述上部电磁铁可以可拆卸地安装于所述安装槽中。所述装置还可包括下部传送单元，用于向所述托盘的下部传递驱动力而不接触所述相对运动容许单元。所述下部传送单元可包括下部永久磁铁，设置于所述相对运动容许单元中；以及下部电磁铁，邻近所述下部永久磁铁而设置于所述真空室内。所述下部传送单元可包括下部永久磁铁，设置于所述相对运动容许单元中；以及下部电磁铁，邻近所述下部永久磁铁而设置于所述真空室外。所述真空室的外壁可形成有在各所述引导单元之间向上凸起的突出部，所述真空室的所述突出部设置有自所述突出部的外表面凹陷的安装槽，且所述下部电磁铁可嵌入于并安装于所述安装槽中。所述下部电磁铁可以可拆卸地安装于所述安装槽中。根据本专利技术的一个方面，提供一种用于传送基板的装置，所述装置包括托盘，装有所述基板并用于传送所述基板；传送单元，设置于所述托盘的下部中并用于传送所述托盘；以及加速/减速单元，邻近所述托盘的上端部或下端部，并通过电磁力来增大或减小所述托盘的传送速度。所述装置还可包括引导单元，设置于所述托盘的上部中并用于引导所述托盘。所述加速/减速单元可包括至少一个旋转磁铁，邻近所述托盘的所述上端部或 所述下端部，并可旋转地设置于所述托盘的传送方向上；旋转电动机，用于旋转所述旋转磁铁；以及旋转控制器，用于控制所述旋转电动机的旋转方向及速度。所述旋转磁铁可在所述托盘的所述下端部中的横向侧处邻近所述托盘并在传送所述托盘的方向上旋转。所述旋转磁铁可具有圆形形状，其中N极与S极沿所述旋转磁铁的所述圆周交错设置。所述加速/减速单元可包括至少一个运动磁铁，邻近所述托盘的所述上端部或所述下端部并设置成靠近或远离所述托盘；驱动器，用于驱动所述运动磁铁靠近或远离所述托盘；以及驱动控制器，用于控制所述驱动器的操作。所述运动磁铁可在所述托盘的所述下端部中的横向侧处邻近所述托盘并设置成靠近或远离所述托盘。所述加速/减速单元可包括多个静止磁铁，以特定间隔设置于所述托盘的所述下端部中；电磁铁模块，邻近所述静止磁铁并以特定间隔排列，且通过与所述静止磁铁的相互作用来产生磁力以增大/减小所述托盘的传送速度；以及模块控制器，用于控制施加至所述电磁模块的电流的供应，以选择性地改变所述电磁模块的N/S极性。所述电磁铁模块可包括多个铁芯，邻近所述静止磁铁并与所述静止磁铁之间留有预定空间，且在所述铁芯上绕有线圈；以及连接板，用于将所述多个铁芯连接成一体。所述多个铁芯可以特定间隔进行排列，所述间隔不同于所述静止本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于传送基板的装置，所述装置包括：真空室；托盘，用于在所述真空室中传送所述基板；上部传送单元，用于向所述托盘的上部传递驱动力而不接触所述托盘的上端部；相对运动容许单元，耦合至所述托盘的下端部并可相对于所述托盘运动；以及多个引导单元，用于接触所述相对运动容许单元并引导所述托盘的运动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑洪基，金起灿，韩景录，金正训，李春秀，吴基容，徐相训，殷熙官，金荣敏，
申请(专利权)人：SFA工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：