【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于传送面板的装置,更具体地,涉及在有效地传送面板的同时可以防止面板受到污染的装置。
技术介绍
通常,诸如平板显示器、半导体晶片、液晶显示器和光掩模玻璃等面板在经过诸如沉积、蚀刻、剥离、清洁和漂洗等一系列处理线时进行处理。为了在这些处理线之间传送面板,面板传送装置实质上是必不可少的。板传送装置可以设计成多种结构,但是,通常使用水平传送面板的结构。也就是说,为了处理面板,面板传送装置水平传送面板,以将面板移交到布置在处理线入口的装载机,或者从装载机中接过已处理的面板,并将该已处理的面板移交到其它的处理线。但是,随着面板尺寸的增大和由于附着在面板表面上的杂质保留在容器中,面板在容器中水平地传送,面板可能被污染或者有污点。为了解决上述问题,已经提出了一种传送处于倾斜状态的面板的传送方法。申请号为.95-315675,95-344610和96-38472的日本专利申请披露了该方法。在这些专利中,处理装置布置成直进式排列,并且以倾斜状态传送面板。但是,由于处理装置都布置成直进式排列,用于装置的安装面积便会增加。另外,为了传送处于倾斜状态的面板,安装用于传送 ...
【技术保护点】
一种面板传送装置,包括:框架;提供在该框架上以传送面板的第一面板传送单元;倒换单元,其从该第一面板传送单元接收该面板,以倒换面板传送方向;提供在该倒换单元下面、用于转换面板状态的面板状态转换单元;和具 有滚筒的第二面板传送单元,该滚筒用于从该倒换单元接收该面板,并将该面板传送到面板处理单元。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:朴庸硕,朴镐胤,
申请(专利权)人:显示器生产服务株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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