本发明专利技术提供一种衬底干燥装置，其不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，还可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，可以提高装置的小型化和耐久性。为此，本发明专利技术公开了以下特征，包括：内部壳体，其包括主体壳体和排气壳体，主体壳体在下部形成用于衬底干燥的气体流入的流入孔，在内部形成收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，排气壳体沿与衬底的传送方向交叉的方向结合到主体壳体的两端部，在内部形成与收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于主体壳体和衬底之间的干燥空间，辐射用于衬底干燥的热量；外部壳体，下部开放以覆盖主体壳体和灯，在与主体壳体之间形成引导气体流动的供气流路。的供气流路。的供气流路。
【技术实现步骤摘要】
衬底干燥装置
[0001]本专利技术涉及一种衬底干燥装置，具体而言，涉及这样一种衬底干燥装置，该衬底干燥装置不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体流动并提高衬底的干燥效率，而且可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，并且可以提高装置的小型化和耐久性。
技术介绍
[0002]通常，用于制造显示器的衬底是通过重复执行沉积、图案形成、蚀刻、化学/机械抛光、清洗、干燥等单元工序来制造的。
[0003]在这些单元工序中，清洗工序是用于去除在执行各单元工序期间附着在衬底表面上的杂质或不需要的膜等的工序，并且在经过这样的清洗工序之后，执行用于去除残留在衬底上的水分或雾的干燥工序。
[0004]通常，在衬底干燥工序中向衬底喷射加热后的干燥空气或者使用红外线灯将传送衬底的区域形成为高温气氛，由此除去衬底上存在的水分或雾。
[0005]然而，在干燥空气的喷射或使用红外线灯的干燥之后，在衬底的表面处会残留有肉眼无法确认的雾，而这样的雾成为导致沉积工序等后续工序中的缺陷的主要因素。
[0006]特别是，在向衬底的表面吹送干燥空气的过程中，在干燥空间内产生负压或形成不稳定的气流，并且外部气体容易流入干燥空间，由此发生外部气体中所含的颗粒附着于衬底上的问题。此外，由于干燥空间内的不稳定气流，发生从衬底分离的雾飞散并重新吸附到衬底上的问题。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：韩国公开专利公报第2019
‑
0137449号(2019年12月11日公开)
技术实现思路
[0010]专利技术所要解决的技术问题
[0011]用于解决上述问题的本专利技术的目的在于提供一种衬底干燥装置，该衬底干燥装置不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，而且可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，并且可以提高装置的小型化和耐久性。
[0012]本专利技术所要解决的技术问题不限于上述技术问题，并且本专利技术所属领域的技术人员可以通过以下描述清楚地理解其他未提及的技术问题。
[0013]用于解决问题的手段
[0014]用于解决上述问题的根据本专利技术的实施例的衬底干燥装置的特征在于，包括：内部壳体，所述内部壳体包括主体壳体和排气壳体，所述主体壳体在下部形成有用于衬底干燥的气体流入的流入孔，并且在内部形成有收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，所述排
气壳体结合到所述主体壳体的两端部，并且在内部形成有与所述收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于所述主体壳体和衬底之间的干燥空间中，辐射用于衬底干燥的热量；以及外部壳体，下部开放以覆盖所述主体壳体和所述灯，并且在与所述主体壳体之间形成有引导气体流动的供气流路。
[0015]由此，从外部流入的外部气体在沿着包围所述收纳空间的所述供气流路移动中与收纳在所述收纳空间中的气体进行热交换而被预热，预热后的气体在移动到所述干燥空间的同时被所述灯进一步加热，并且用于衬底的干燥，用于衬底干燥的气体在收纳于所述收纳空间中的同时与沿所述供气流路移动的所述外部气体进行热交换而被冷却之后，可以被排出到所述排气流路。
[0016]此外，流入所述供气流路的气体可以以衬底的传送方向为基准，分为配置在前方的前方供气流路和配置在后方的后方供气流路，并且在所述干燥空间的前方区域和后方区域中朝向所述干燥空间的中心部彼此相对地流动。
[0017]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，还可以包括：外部气体供给部，与形成在所述外部壳体的上部处的流入口连接，用于将外部气体供给到所述供气流路侧。
[0018]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述外部气体供给部可以包括：风扇，配置在所述流入口处，将外部气体加压并传送到所述供气流路侧；以及过滤器，配置在所述流入口处，将从所述风扇加压传送的外部气体内包含的异物分离。
[0019]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述外部气体供给部可以包括：外部气体供给配管，连接到所述流入口；风扇，设置在所述外部气体供给配管上，将外部气体加压并传送到所述供气流路侧；缓冲室，将所述外部气体供给配管和所述流入口连接，并且填充有从所述风扇加压传送的气体；以及过滤器，配置在所述流入口处，将通过了所述缓冲室的气体内包含的异物分离。
[0020]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述外部气体供给部还可以包括：挡板部件，配置在所述缓冲室和所述过滤器之间，并且构成为形成从所述缓冲室传送到所述过滤器的气体的均匀的传送压力。
[0021]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述外部壳体的下端部可以从衬底朝上侧间隔开并在与衬底之间形成狭缝，并且可以使在所述供气流路中移动的气体的一部分在通过所述狭缝的同时形成沿所述干燥空间的相反方向流动的空气幕气流，以阻止外部气体通过所述狭缝流入。
[0022]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述外部壳体可以包括：延长部，从下端部沿衬底的传送方向延长形成，并且将通过所述狭缝的所述空气幕气流引向与所述干燥空间相反的方向。
[0023]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述狭缝的高度可以低于所述干燥空间的高度。
[0024]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，还可以包括：反射板，配置在所述主体壳体的下侧，反射从所述灯辐射的辐射热量并使其集中在衬底上。
[0025]此外，在根据本实施例的衬底干燥装置中，所述主体壳体可以包括主体和下板，所述下板结合到所述主体的下部以面向衬底，并且与衬底之间形成所述干燥空间，在这种情况下，所述下板还可以包括：一对反射板支撑台，从所述主体的下端部向所述干燥空间的中
心部延长形成；以及反射板，将所述一对反射板支撑台连接，并且反射从所述灯辐射的辐射热量并使其集中在衬底上。
[0026]专利技术的效果
[0027]根据本专利技术，可以使用内部壳体和外部壳体来形成双流路，并且利用通过双流路的气体间的热交换来迅速形成适于衬底的干燥的高温气氛，由此可以大幅提高衬底的干燥效率。
[0028]根据本专利技术，可以确保经由供气流路的外部气体从干燥空间的外侧朝向干燥空间的中心部稳定地流动，与此同时，可以形成朝向干燥空间的相反方向的空气幕气流，因而可以大幅减少外部颗粒流入干燥空间或者从衬底分离的雾重新吸附到衬底上等的衬底的干燥缺陷。
[0029]根据本专利技术，可以防止灯的不必要的温度上升，可以提高装置的耐久性。
[0030]根据本专利技术，还具有这样的优点：可以排除紧凑的双流路结构和冷却装置等不需要的装置，从而可以实现装置的小型化，并且在衬底制造工序中与前后关联工序的串联方式的设计变型变得容易。
附图说明
[0031]图1是示出根据本专利技术的实施例的衬底干燥装置的立体图。
[0032]图2是沿图1的线A
‑
A截取的截面示意图。
[0033]图3是沿图1的线B
‑
B截取的截本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种衬底干燥装置，其特征在于，包括：内部壳体，包括：主体壳体和排气壳体，所述主体壳体在下部形成有用于衬底干燥的气体流入的流入孔，并且在内部形成有收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，所述排气壳体结合到所述主体壳体的两端部，并且在内部形成有与所述收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于所述主体壳体和衬底之间的干燥空间中，辐射用于衬底干燥的热量；以及外部壳体，下部开放以覆盖所述主体壳体和所述灯，并且在与所述主体壳体之间形成有引导气体流动的供气流路，从外部流入的外部气体在沿着包围所述收纳空间的所述供气流路移动中与收纳在所述收纳空间中的气体进行热交换而被预热，预热后的气体在移动到所述干燥空间的同时被所述灯进一步加热，并且用于衬底的干燥，用于衬底干燥的气体在收纳于所述收纳空间中的同时与沿所述供气流路移动的所述外部气体进行热交换而被冷却之后，被排出到所述排气流路。2.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，流入所述供气流路的气体以衬底的传送方向为基准，分为配置在前方的前方供气流路和配置在后方的后方供气流路，并且在所述干燥空间的前方区域和后方区域中朝向所述干燥空间的中心部彼此相对地流动。3.根据权利要求1所述的衬底干燥装置，其特征在于，还包括：外部气体供给部，与形成在所述外部壳体的上部处的流入口连接，用于将外部气体供给到所述供气流路侧。4.根据权利要求3所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部气体供给部包括：风扇，配置在所述流入口处，将外部气体加压并传送到所述供气流路侧；以及过滤器，配置在所述流入口处，将从所述风扇加压传送的外部气体内包含的异物分离。5.根据权利要求3所述的衬底干燥装置，其特征在于，所述外部气体供给部包括：外部气体供...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴庸硕，朴康淳，李材石，权烔吾，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。