本发明的清洁液加热装置包括：设置有吸入端口和排出端口的壳体；设置在上述壳体的一侧上，形成多个插入孔的凸缘

本发明的夹管阀包括阀壳和，构成通过所述阀壳的流路的夹管袖和，选择地压榨所述夹管袖的压榨机构和，与该压榨机构联动，并且包括强制恢复由压榨机构压榨的夹管袖的复原机构。所述压榨机构包括:被配置为能够在阀壳内上下移动相框形态的滑盖箱和，它包括上...

根据本发明的夹管阀包括阀壳和，构成通过所述阀壳的流路的夹管袖和，选择地压榨所述夹管袖的压榨机构和，与该压榨机构联动，并且包括强制被复原由压榨机构压榨的夹管袖的复原机构。所述压榨机构包括配置在所述阀壳中夹管袖的上方，在与夹管袖的轴中心正交...

本发明提供这样一种衬底传送装置：从朝向在传送轴处设置的轴承部单独供给和调节润滑液的方式变更为统一供给和调节润滑液的集成方式，可以使与轴承部的浸渍容量均匀，并提高润滑和清洗质量，并且排除用于供给润滑液的动力模块，简化复杂的配管结构，从而可...

本发明提供一种可以防止与输送中的衬底发生碰撞并且可以均匀地形成施加到浮起的衬底的下表面的流体的压力的衬底浮起装置。为此，本发明公开了以下特征，包括：主体，通过下部流入口流入的流体填充其内部空间；浮起板，配置在所述内部空间的上部，并且具有...

本发明提供一种处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置，该处理液罐具有过滤器部，简化供给配管的结构并使供给配管和配管连接部最小化，可以提高设备的可靠性和容易地执行针对泄漏引发问题的安全管理。为此，本发明公开的处理液罐储存用于处理衬底的处理...

本发明涉及一种衬底清洗装置，该衬底清洗装置对通过多个腔室的衬底同时执行多功能的清洗，由此可以有效地执行衬底清洗和使衬底清洗及制造空间高效地运行，在清洗工序中稳定地控制腔室内部的气流，由此可以防止在腔室内部产生的雾或烟流出到外部或包含异物...

本发明提供一种衬底干燥装置，其不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，还可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，可以提高装置的小型化和耐久性。为此，本发明公开了以下特征，包括：内部壳体，其包括主...

本发明提供一种处理液供给装置，其可以将传送处理液的配管和配管上设置的过滤器、阀和流量计的设置结构简化并使设置空间最小化的同时将过滤后的处理液以所设定的流量有效地供给到使用处。为此，本发明包括：供给部，对处理液进行加压；过滤器单元，配置在...

本发明提供一种衬底清洗装置，其可以使用旋转的滚刷来去除衬底处存在的异物，可以清洗从衬底吸附到滚刷上的异物，可以防止在清洗滚刷时从滚刷分离的异物传递到清洗后的衬底。为此，本发明公开了以下特征，包括：刷单元，具有滚刷，滚刷在与衬底的下部表面...

本发明提供一种基板传送装置，可以使用将配置在腔室外部的动力产生部和配置在腔室内部的传送部连接的金属丝部件，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化并大幅减少腔室内部的颗粒产生。为此，本发明提供的基板传送装置包括：腔室，具...

本发明提供处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置，与供给装置的工作无关地使配管内的处理液不会残留或滞留，从而可以防止细菌污染处理液并提高处理液的回收率，并提高所处理的基板的质量。本发明包括：用于喷射处理液的处理液喷射部；用于...

本发明提供实时监控气体的压差而在超过所设定的压差范围的情况下自动调节排气量并且在紧急情况下能够进行迅速的手动调节的阻尼系统，和可以实时地自动控制工艺室内的压差并提高工艺环境的稳定性和成品的成品率的基板处理装置和基板处理方法。为此，本发明...

本发明提供一种可以防止由异物引起的喷射口的堵塞现象并通过喷射口喷射均匀容量的液体的流体喷射装置。为此，本发明公开了如下特征，即，包括：第一板；第二板，与所述第一板结合；以及流体流路，形成在所述第一板和所述第二板之间，并将流体供给口和流体...

本发明提供一种流量控制装置，其可以阻断与流体的直接接触，抑制流体中的颗粒生成，并且能够进行迅速且准确的流量调节。为此，本发明公开了以下特征，包括：配管，具备具有弹性恢复力的主管；壳体，设置成包围所述主管；手柄，与所述壳体可旋转地结合；驱...

本发明提供一种滚筒刷，其包含：基部，其由管子构成，上述管子由包含碳纤维的塑料系复合材料形成；被覆部，其以包裹上述基部的外周面的方式设置；旋转轴，其设置在上述基部的两侧终端；以及刷子部，其设置在上述被覆部的外周面。本发明的滚筒刷通过由包含...

本发明涉及可以提高利用使用离子性液体处理的有机材料制造的有机发光元件和有机电子元件的寿命的有机材料处理方法、使用该有机材料处理方法制造的电子元件制造用有机材料、以及使用电子元件制造用有机材料制造的有机发光元件和有机电子元件。为此，本发明...

本发明提供一种可以进一步增加二氧化碳气体相对于清洗水的溶解度并始终保持均匀的溶解度，从而使清洗水与基板之间的静电产生现象最小化或得到抑制的二氧化碳溶解模块和包括该模块的基板处理装置。为此，本发明公开了一种二氧化碳溶解模块和包括该模块的基...

本发明提供一种基板传送装置，能够实现稳定且精确的基板传送。该基板传送装置包括：传送框架，在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架；以及支撑框架，在上部处放置用于传送的基板，并且，具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向...

本发明公开了一种基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法和包括接地单元的基板传送装置。基板传送装置用接地单元包括：支撑块，结合到支撑框架，支撑框架设置有用于传送基板的多个轴单元；支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为...