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用于传送基板的装置制造方法及图纸
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下载用于传送基板的装置的技术资料
文档序号:8155984
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本发明公开一种用于传送基板的装置。所述装置包括:真空室;托盘,用于在所述真空室中传送所述基板;上部传送单元,用于向所述托盘的上部传递驱动力而不接触所述托盘的上端部;相对运动容许单元,耦合至所述托盘的下端部并可相对于所述托盘运动;以及多个引导...
该专利属于SFA工程股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SFA工程股份有限公司授权不得商用。
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