温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种设备前端装置和硅片盒的储运方法，属于半导体制造技术领域。设备前端装置可以包括：至少一个装载单元、控制单元和物料运送单元，所述的控制单元控制装载有硅片盒的所述装载单元升降，将所述硅片盒传送给所述物料运送单元，以及将所述物料运送...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。