【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅制造
，尤其是涉及。
技术介绍
多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基础。目前，工业上生产高纯度多晶硅的最主要方法为改良西门子法，所生产的多晶硅占当今世界生产总量的70-80%。改良西门子法的生产流程是利用HCl和工业硅粉在一定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进行分离精馏提纯，提纯后的SiHCl3在钟罩式氢还原炉内进行化学气相沉积反应得到高纯多晶硅。改良的西门子工艺具有技术成熟度高、产品质量好的优点，但是在生产效率和能耗方面也存在显著的缺点。由于采用钟罩式反应器，在硅棒长大到一定尺寸(如50-300mm)后必须使反应器降温并取出产品，因此只能采用间歇操作，能耗高，此外硅棒的沉积比表面积小，原料气SiHCl3的一次转化率低，产量受到限制。另外，由于产品为棒状多晶硅，在用于单晶硅拉制之前需要将其进行粉碎，一方面增加了加工工序和成本,也容易引入额外的杂质。针对以上问题，现有研究者提出了采用流化床反应器的硅沉积法生产粒状多晶硅.该方法中，从反应器下部通入反应气体和流化气体的混合物使床层流化，高纯多晶硅连...
【技术保护点】
一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器（16）、二级旋风分离器（20）、载气过滤器（21）、物料预热储罐（14）及尾气缓冲罐（13），所述旋转式流化床包括均固定设置的上封头（2）、下封头（3），所述上封头（2）、下封头（3）之间密封式设置有反应筒体（1），所述上封头（2）、下封头（3）与反应筒体（1）转动连接，反应筒体（1）外部设有第一加热装置（12），所述上封头（2）上的尾气出口通过管道与尾气缓冲罐（13）相连，所述物料预热储罐（14）外部设有第二加热装置（15），物料预热储罐（14）底部出口通过管道与上封头（2）上的多晶硅晶种入口...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器(16)、二级旋风分离器(20)、载气过滤器(21)、物料预热储罐(14)及尾气缓冲罐(13)，所述旋转式流化床包括均固定设置的上封头(2)、下封头(3)，所述上封头(2)、下封头(3 )之间密封式设置有反应筒体(I)，所述上封头(2 )、下封头(3 )与反应筒体(I)转动连接，反应筒体(I)外部设有第一加热装置(12)，所述上封头(2)上的尾气出口通过管道与尾气缓冲罐(13)相连，所述物料预热储罐(14)外部设有第二加热装置(15)，物料预热储罐(14)底部出口通过管道与上封头(2)上的多晶硅晶种入口相连，所述下封头(3)底部出口通过管道与一级旋风分离器(16 )顶部进口相连，下封头(3 )上还设有连接硅源气体管道的硅源气体进口( 17)，所述一级旋风分离器(16)侧壁上设有第一载气入口( 18)，一级旋风分离器(16)底部设有收集口(19)，一级旋风分离器(16)顶部的第一载气出口通过管道与二级旋风分离器(20)顶部的第二载气入口相连，所述二级旋风分离器(20)顶部的第二载气出口通过管道与载气过滤器(21)中部的进口相连，所述载气过滤器(21)底部出口通过管道与二级旋风分离器(20)上部的物料回收进口相连，二级旋风分离器(20)底部出口与物料预热储罐(14)顶部进口相连。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，所述旋转式流化床倾斜角度为20 40°。3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，所述反应筒体(I)内壁上设有厚度为f3mm的内衬层(9)，所述内衬层(9)由多晶硅制成。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，反应筒体(I)靠近上封头(2) —端的内部固定有折流挡板(10)，所述折流挡板(10)上设有均匀分布的折流通道(11)，所述折流通道(11)呈V字形，折流通道(11)的开口分别位于折流挡板(10 )的上、下表面且折流通道(11)的转折夹角同向。5.根据权利要求4所述的一种多晶硅颗粒制备系统，其特征在于，所述折流挡板(10)的厚度为15 20cm，折流挡板(10)表面的开孔率为20 30%，折流通道(11)横截面为直径15^20cm的圆形...
【专利技术属性】
技术研发人员：李波，宫有圣，汤川·理查德，
申请(专利权)人：浙江精功新材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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