制备粒状多晶硅的反应器及方法技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种反应器，特别是一种流化床反应器，还涉及一种用于制备粒状多晶硅的方法。流化床反应器在例如通过冶金硅与氯化氢(HCl)在350～400℃下反应来制备三氯甲硅烷(TCS)的情况下被使用。TCS也可同样地通过在流化床反应器内的冶金硅与STC/H2(STC＝四氯化硅)来制备。流化床反应器也用于制备多晶硅颗粒。这是通过在流化床内以气流的方式流化硅颗粒、并通过加热装置将其加热到高温来实现的。含硅反应气体的导入引起了热颗粒表面的热解反应。此时，元素硅在硅颗粒上沉积，且单个颗粒的直径增大。定期排除尺寸增加的颗粒并添加较小的硅颗粒作为种颗粒，从而使该过程连续不断伴随所有优点进行。硅-卤素化合物(例如氯硅烷或溴硅烷)、甲硅烷(SiH4)及这些气体与氢气的混合物被称为含硅进料气体。实施它们的沉积过程及装置例如在US 4786477A中已知。US 5382412A公开了一种在流化床反应器中制备多晶硅的方法，其中初始硅颗粒供给到反应器中形成硅颗粒床；反应器床被分为反应区和加热区，在所述反应区，气态或气化硅源以硅金属的形式在反应温度下沉积在硅颗粒上，而在所述加热区，部分所述硅颗...
【技术保护点】
一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，用于包括粒状多晶硅的流化床及位于反应容器内的反应器底部的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排出管线以及用于从反应容器中排放反应器废气的装置，其中在内反应管及加热装置之间设有圆柱形部件，该圆柱形部件在其圆柱形表面上有开口，该圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.18 DE 102014205025.11.一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，用于包括粒状多晶硅的流化床及位于反应容器内的反应器底部的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排出管线以及用于从反应容器中排放反应器废气的装置，其中在内反应管及加热装置之间设有圆柱形部件，该圆柱形部件在其圆柱形表面上有开口，该圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口。2.根据权利要求1所述的反应器，其中所述部件的圆柱形表面的40-70％为开口。3.根据权利要求2所述的反应器，其中所述部件的圆柱形表面的45-60％为开口。4.根据权利要求1到3中任一项所述的反应器，其中所述加热装置为具有弯曲形状的加热器或多个加热元件。5.根据权利要求1到4中...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。