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制备粒状多晶硅的反应器及方法技术
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文档序号:14020512
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本发明公开了一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器,其包括反应容器,包括粒状多晶硅及位于反应容器内的反应器底部的流化床的内反应管,用于加热内反应管中的流化床的加热装置,至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴,以及至少一个用于...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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