【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产工艺，是一种还原炉电极石英绝缘构件。
技术介绍
目前多晶硅生产主要工艺为改良西门子法，其还原工序主要是由电能提供热源，让反应混合原料在高温高压的炉内气相沉积生成多晶娃。由于还原反应的启动要在100°c至200°C的温度条件下，提供3000V至12000V的高压对炉内硅芯进行击穿通电提供能源，这就要求电极的附属绝缘构件绝缘性能要好；而在整个多晶硅沉积生产过程中电极的聚四氟乙烯绝缘套极易被高温烧坏，这就要求绝缘构件的隔热性能好、耐温高、化学稳定性要好。还原炉电极石英绝缘构件的原理就是利用石英具有极低的热膨胀系数、高的耐温性、极好的化学稳定性、优良的电绝缘性等性能，以达到还原炉电极电绝缘性能好、低维护、长期稳定运行的目的。目前多晶硅生产行业内的还原炉电极绝缘构件主要采用陶瓷绝缘环，陶瓷绝缘环由于热膨胀系数稍大((Tioocrc，石英砂热膨胀系数-为5.5 X 10-7/°C )，在硅棒生长到Φ40mm左右时陶瓷绝缘环有开裂损坏现象；当硅棒长到Φ IOOmm左右时陶瓷绝缘环开裂损坏30%以上；这使得电极的聚四氟乙烯绝缘套烧毁严重，更换频繁，同时为生产带来较大的安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种电绝缘性能好、低维护、长期稳定运行的还原炉电极石英绝缘构件，这样即保证了启动时的优良电绝缘性，又保证在整个娃棒生长过程中绝缘构件没有任何开裂损坏现象；保证了不中断生产的连续稳定性、不增加备件消耗，也不影响产品纯度，且降低了生 产安全隐患。本技术的技术方案如下:还原炉电极石英绝缘构件,其特征在于:包括由石英制成的绝缘外环、绝缘内环和绝缘顶盖；绝缘内环...
【技术保护点】
还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于：包括由石英制成的绝缘外环（1）、绝缘内环（2）和绝缘顶盖（3）；绝缘内环（2）配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环（1）套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端；绝缘外环（1）和绝缘内环（2）的顶面位于同一平面，所述绝缘内环（2）和绝缘外环（1）上面设置有绝缘顶盖（3），还原炉底盘、绝缘内环（2）、绝缘外环（1）、绝缘顶盖（3）围成一个封闭空间。
【技术特征摘要】
1.还原炉电极石英绝缘构件，其特征在于:包括由石英制成的绝缘外环(I)、绝缘内环(2)和绝缘顶盖(3);绝缘内环(2)配置在还原炉内底盘上电极与聚四氟乙烯绝缘套之间；绝缘外环(I)套在还原炉底盘的聚四氟乙烯绝缘套上端；绝缘外环(I)和绝缘内环(2)的顶面位于同一平面，所述绝缘内环(2)和绝缘外环(I)...
【专利技术属性】
技术研发人员：游书华，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。