一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统技术方案

技术编号:39948585 阅读:31 留言:0更新日期:2024-01-08 23:07
本技术公开了一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,涉及多晶硅技术领域,包括缓存储罐和精馏塔,所述缓存储罐出料口通过输送泵与精馏塔物料进口相连,所述精馏塔的塔底出料口连接提纯塔,中部出料口连接三氯氢硅原料储罐,塔顶出料口连接反歧化原料罐。该系统用于对合成液、深冷液除硼与渣浆回收液分离的精馏,不仅能分离三氯氢硅增加精馏系统产量,同时降低原料精馏硼磷元素的引入量,还消除了渣浆回收液中三氯氢硅循环进入冷氢化系统抑制其转化率的问题,实现原料精馏产品产能提升且品质稳定,为未来多晶硅产能的提升作前期的准备。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅,具体涉及一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统


技术介绍

1、高纯晶硅生产环节里,原料中三氯化硼、三氯化磷、重金属等杂质含量超高,对企业的量产及品质的提高产生了较大的影响。在此情况下,各高纯晶硅企业寻求新的技术方法,期望通过前处理和后精制的方法来祛除一部分三氯化硼等杂质,提高和稳定原料质量,保证高纯晶硅产品质量。

2、精馏除硼是传统的利用物质的沸点不同达到分离提纯的目的。其主要操作是控制精馏塔顶和塔釜的温度,以及塔顶塔釜的排放量来将硼系化合物排除系统。此法除硼操作精度高,对各个控制参数不得有波动。

3、多晶硅渣浆回收产品液是:原料精馏装置排出的含重金属、高沸物等物质的四氯化硅液体,经渣浆工序处理提纯处理后回收的高纯四氯化硅,渣浆液回收液因系统排渣操作原因,排渣过程中含少量三氯氢硅,经渣浆回收装置处理后,提纯的四氯化硅中含三氯氢硅一并送入原合成精馏四氯化硅提纯塔,继而低沸点的三氯氢硅与提纯后的四氯化硅又送回冷氢化,如此形成三氯氢硅循环,影响产能提升。

4、多晶硅深冷液是:多晶硅生产过程中产生的尾气,经原料本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,其特征在于:包括缓存储罐(1)和精馏塔(2),所述缓存储罐(1)出料口通过输送泵(3)与精馏塔(2)进料口相连,其进料口连接四条进料管线(4),四条进料管线(4)分别连接渣浆回收装置的渣浆液管线、尾气深冷装置的深冷液管线、三氯氢硅合成装置的合成液管线和冷氢化装置的氢化液管线;所述精馏塔(2)的塔底出料口连接提纯塔(5),中部出料口的连接三氯氢硅原料储罐(6),塔顶出料口连接反歧化原料罐(7)。

2.根据权利要求1所述物料综合处理系统,其特征在于:所述精馏塔还包括进料预热器(8),所述进料预热器(8)为双流道缠绕管式换热器。

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【技术特征摘要】

1.一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,其特征在于:包括缓存储罐(1)和精馏塔(2),所述缓存储罐(1)出料口通过输送泵(3)与精馏塔(2)进料口相连,其进料口连接四条进料管线(4),四条进料管线(4)分别连接渣浆回收装置的渣浆液管线、尾气深冷装置的深冷液管线、三氯氢硅合成装置的合成液管线和冷氢化装置的氢化液管线;所述精馏塔(2)的塔底出料口连接提纯塔(5),中部出料口的连接三氯氢硅原料储罐(6),塔顶出料口连接反歧化原料罐(7)。

2.根据权利要求1所述物料综合处理系统,其特征在于:所述精馏塔还包括进料预热器(8),所述进料预热器(8)为双流道缠绕管式换热器。

3.根据权利要求2所述物料综合处理系统,其特征在于:所述进料预热器(8)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁野罗轩涂彬王波冉进
申请(专利权)人:四川永祥多晶硅有限公司
类型:新型
国别省市:

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