【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅,具体涉及一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统。
技术介绍
1、高纯晶硅生产环节里,原料中三氯化硼、三氯化磷、重金属等杂质含量超高,对企业的量产及品质的提高产生了较大的影响。在此情况下,各高纯晶硅企业寻求新的技术方法,期望通过前处理和后精制的方法来祛除一部分三氯化硼等杂质,提高和稳定原料质量,保证高纯晶硅产品质量。
2、精馏除硼是传统的利用物质的沸点不同达到分离提纯的目的。其主要操作是控制精馏塔顶和塔釜的温度,以及塔顶塔釜的排放量来将硼系化合物排除系统。此法除硼操作精度高,对各个控制参数不得有波动。
3、多晶硅渣浆回收产品液是:原料精馏装置排出的含重金属、高沸物等物质的四氯化硅液体,经渣浆工序处理提纯处理后回收的高纯四氯化硅,渣浆液回收液因系统排渣操作原因,排渣过程中含少量三氯氢硅,经渣浆回收装置处理后,提纯的四氯化硅中含三氯氢硅一并送入原合成精馏四氯化硅提纯塔,继而低沸点的三氯氢硅与提纯后的四氯化硅又送回冷氢化,如此形成三氯氢硅循环,影响产能提升。
4、多晶硅深冷液是:多晶硅生产过程
...【技术保护点】
1.一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,其特征在于:包括缓存储罐(1)和精馏塔(2),所述缓存储罐(1)出料口通过输送泵(3)与精馏塔(2)进料口相连,其进料口连接四条进料管线(4),四条进料管线(4)分别连接渣浆回收装置的渣浆液管线、尾气深冷装置的深冷液管线、三氯氢硅合成装置的合成液管线和冷氢化装置的氢化液管线;所述精馏塔(2)的塔底出料口连接提纯塔(5),中部出料口的连接三氯氢硅原料储罐(6),塔顶出料口连接反歧化原料罐(7)。
2.根据权利要求1所述物料综合处理系统,其特征在于:所述精馏塔还包括进料预热器(8),所述进料预热器(8)为双流道缠绕管式
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【技术特征摘要】
1.一种多晶硅精馏工艺的物料综合处理系统,其特征在于:包括缓存储罐(1)和精馏塔(2),所述缓存储罐(1)出料口通过输送泵(3)与精馏塔(2)进料口相连,其进料口连接四条进料管线(4),四条进料管线(4)分别连接渣浆回收装置的渣浆液管线、尾气深冷装置的深冷液管线、三氯氢硅合成装置的合成液管线和冷氢化装置的氢化液管线;所述精馏塔(2)的塔底出料口连接提纯塔(5),中部出料口的连接三氯氢硅原料储罐(6),塔顶出料口连接反歧化原料罐(7)。
2.根据权利要求1所述物料综合处理系统,其特征在于:所述精馏塔还包括进料预热器(8),所述进料预热器(8)为双流道缠绕管式换热器。
3.根据权利要求2所述物料综合处理系统,其特征在于:所述进料预热器(8)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁野,罗轩,涂彬,王波,冉进,
申请(专利权)人:四川永祥多晶硅有限公司,
类型:新型
国别省市:
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