一种42对棒多晶硅还原炉制造技术

技术编号:41173957 阅读:5 留言:0更新日期:2024-04-30 18:38
本技术公开了一种42对棒多晶硅还原炉,涉及多晶硅行业高纯还原技术领域,包括:排布于底盘上的42对硅棒,42对硅棒包括84根硅棒,84根硅棒按照五个同心圆排布,排布方式为:从内圈到外圈依次为6根硅棒、6根硅棒、16根硅棒、24根硅棒、32根硅棒;其中,第一圈上每1根硅棒和与其相邻的第二圈的1根硅棒组成一对硅棒,第一圈的6根硅棒和第二圈的6根硅棒形成6对硅棒;第三圈、第四圈、第五圈的每一圈硅棒中,相邻两根硅棒组成一对硅棒,第三圈、第四圈、第五圈中分别形成8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒。本技术利用40对棒设备尺寸布局42对棒硅棒,对各相对数进行从新布局分布,确保各相运行网压平稳,设备运行更稳定。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅行业高纯还原,更具体地说涉及一种42对棒多晶硅还原炉


技术介绍

1、多晶硅是生产单晶硅的直接材料,高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求,整个世界对多晶硅的需求量在大幅增加。多晶硅还原炉是生产多晶硅的主要设备,同时多晶硅还原炉又是一个高能耗的设备。因此,还原炉的好坏,是否节能,直接影响到产品的质量和生产的成本。

2、现有技术中,一种常见的40对棒底盘结构如图2所示,其40对棒三线6相分布分别为a相(a1相6对、a2相8对)、c相(c1相6对、c2相8对)各14对,b相(b1相4对、b2相8对)12对。其中,40对硅棒包括80根硅棒,80根硅棒按照四个同心圆排布,排布方式为:从内圈到外圈依次为8根硅棒、16根硅棒、24根硅棒、32根硅棒。第一圈到第四圈的每一圈硅棒中,相邻两根硅棒组成一对硅棒,第一圈到第四圈中分别形成4对硅棒、8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒,4对硅棒、8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒构成40对硅棒。

3、上述现有技术中的40对棒底盘结构,其在同样尺寸的布局里,产量没有得到最大的发挥。


技术实现思路

1、为了克服上述现有技术中存在的缺陷,本技术的目的是提供一种42对棒多晶硅还原炉,以解决上述在同样尺寸的布局里,产量没有得到最大的发挥的问题。

2、为了实现以上目的,本技术采用的技术方案:

3、一种42对棒多晶硅还原炉,包括:

4、还原炉炉体;

5、位于所述还原炉炉体内的底盘;

6、排布于所述底盘上的42对硅棒,所述42对硅棒包括84根硅棒,所述84根硅棒按照五个同心圆排布,排布方式为:从内圈到外圈依次为6根硅棒、6根硅棒、16根硅棒、24根硅棒、32根硅棒;

7、其中,第一圈上每1根硅棒和与其相邻的第二圈的1根硅棒组成一对硅棒,第一圈的6根硅棒和第二圈的6根硅棒形成6对硅棒;

8、第三圈、第四圈、第五圈的每一圈硅棒中,相邻两根硅棒组成一对硅棒,第三圈、第四圈、第五圈中分别形成8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒,所述6对硅棒、8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒构成42对硅棒。

9、优选的,从里到外,第一圈和第二圈的6对硅棒为第一组硅棒,第三圈的8对硅棒为第二组硅棒,第四圈的6对硅棒为第三组硅棒,第四圈剩余的6对硅棒为第四组硅棒,第五圈的8对硅棒为第五组硅棒,第五圈剩余的8对硅棒为第六组硅棒,在第一组硅棒到第六组硅棒中,每一组硅棒对应一个相电流;

10、其中,第一组硅棒对应b1相,第二组硅棒对应c2相,第三组硅棒对应c1相,第四组硅棒对应a1相,第五组硅棒对应b2相,第六组硅棒对应a2相。

11、优选的,所述底盘上设置有喷嘴,其中,所述底盘的中心设置有1个喷嘴,第一圈硅棒和第二圈硅棒之间均布有4个喷嘴,第三圈硅棒和第四圈硅棒之间均布有8个喷嘴,第四圈硅棒和第五圈硅棒之间均布有16个喷嘴。

12、优选的,所述底盘上设置有尾气孔,所述尾气孔有且仅分布在最外圈的硅棒外侧。

13、优选的,围绕最外圈的硅棒跨中均布有8个尾气孔。

14、优选的,第一圈和第二圈的6对硅棒中,每一对硅棒中的两根硅棒之间的中心距为220mm;第三圈、第四圈和第五圈的8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒中,每一对硅棒中的两根硅棒之间的中心距为250mm。

15、本技术的有益效果:

16、本技术提供的42对棒多晶硅还原炉,利用40对棒设备尺寸布局42对棒硅棒,对各相对数进行从新布局分布,确保各相运行网压平稳,无明显偏差,设备运行更稳定,具备减少设备投资、增产降耗、电器控制更稳定等优点。

17、本技术提供的42对棒多晶硅还原炉,不增加设备尺寸的基础上,增加了两对硅棒布置,增加了单炉产量;同时每相硅棒对数数量完全一样,电压控制更加平稳,设备运行更加稳定。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,从里到外,第一圈和第二圈的6对硅棒为第一组硅棒,第三圈的8对硅棒为第二组硅棒,第四圈的6对硅棒为第三组硅棒,第四圈剩余的6对硅棒为第四组硅棒,第五圈的8对硅棒为第五组硅棒,第五圈剩余的8对硅棒为第六组硅棒,在第一组硅棒到第六组硅棒中,每一组硅棒对应一个相电流;

3.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,所述底盘上设置有喷嘴,其中,所述底盘的中心设置有1个喷嘴,第一圈硅棒和第二圈硅棒之间均布有4个喷嘴,第三圈硅棒和第四圈硅棒之间均布有8个喷嘴,第四圈硅棒和第五圈硅棒之间均布有16个喷嘴。

4.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,所述底盘上设置有尾气孔,所述尾气孔有且仅分布在最外圈的硅棒外侧。

5.如权利要求4所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,围绕最外圈的硅棒跨中均布有8个尾气孔。

6.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,第一圈和第二圈的6对硅棒中,每一对硅棒中的两根硅棒之间的中心距为220mm;第三圈、第四圈和第五圈的8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒中,每一对硅棒中的两根硅棒之间的中心距为250mm。

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【技术特征摘要】

1.一种42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,从里到外,第一圈和第二圈的6对硅棒为第一组硅棒,第三圈的8对硅棒为第二组硅棒,第四圈的6对硅棒为第三组硅棒,第四圈剩余的6对硅棒为第四组硅棒,第五圈的8对硅棒为第五组硅棒,第五圈剩余的8对硅棒为第六组硅棒,在第一组硅棒到第六组硅棒中,每一组硅棒对应一个相电流;

3.如权利要求1所述的42对棒多晶硅还原炉,其特征在于,所述底盘上设置有喷嘴,其中,所述底盘的中心设置有1个喷嘴,第一圈硅棒和第二圈硅棒之间均布有4个喷嘴,第三圈硅棒和第四圈...

【专利技术属性】
技术研发人员:余涛杨鹏程代晓涛周维维
申请(专利权)人:四川永祥多晶硅有限公司
类型:新型
国别省市:

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