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一种42对棒多晶硅还原炉制造技术
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下载一种42对棒多晶硅还原炉的技术资料
文档序号:41173957
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本技术公开了一种42对棒多晶硅还原炉,涉及多晶硅行业高纯还原技术领域,包括:排布于底盘上的42对硅棒,42对硅棒包括84根硅棒,84根硅棒按照五个同心圆排布,排布方式为:从内圈到外圈依次为6根硅棒、6根硅棒、16根硅棒、24根硅棒、32根硅...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。
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