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本发明公开了一种多晶硅颗粒制备系统,解决了现有技术的多晶硅颗粒易在流化床反应器内壁沉积,制得的多晶硅颗粒粒径不均匀,多晶硅晶种利用率低,多晶硅细粉损失率大的问题,其包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器、二级旋风分离器、载气过滤器、物料...该专利属于浙江精功新材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江精功新材料技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多晶硅颗粒制备系统,解决了现有技术的多晶硅颗粒易在流化床反应器内壁沉积,制得的多晶硅颗粒粒径不均匀,多晶硅晶种利用率低,多晶硅细粉损失率大的问题,其包括倾斜设置的旋转式流化床、一级旋风分离器、二级旋风分离器、载气过滤器、物料...