【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种再利用硅片清洗机，其特征在于，包括槽体部分和管路部分，所述槽体部分包括紧密相邻且并排设置并且互不相通的超声槽（10）、酸槽（11）、纯水槽（12）和喷淋槽（13），所述管路部分包括进水主管（8）和多个带有开关阀的进水支管（6），所述进水支管（6）与所述超声槽（10）、酸槽（11）、纯水槽（12）和喷淋槽（13）一一对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：齐海洋，李盼，孙双庆，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。