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本实用新型涉及一种再利用硅片清洗机，包括槽体部分和管路部分，所述槽体部分包括紧密相邻且并排设置并且互不相通的超声槽、酸槽、纯水槽和喷淋槽，所述管路部分包括进水主管和多个带有开关阀的进水支管，所述进水支管与所述超声槽、酸槽、纯水槽和喷淋槽一一...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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