搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块制造技术

本实用新型专利技术涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。根据实施方式的搬运机器人包括：臂单元、基部单元、引导单元、升降单元和通风部。所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体。所述基部单元形成为大体盒形形状。所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴。所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元。所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的实施方式涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。
技术介绍
常规上，已知有一种搬运机器人，该搬运机器人设置在形成于设备前端模块(EFEM)中的空间内并且搬运诸如半导体晶片的基板。搬运机器人通常包括臂主体，并且例如通过在由臂主体保持基板的情况下沿水平方向移动臂主体以及移动设置在臂主体的末端部处的末端执行器来搬运基板。臂主体自身通常由能够执行升降操作的升降单元来支承。因为诸如半导体晶片的产品在EFEM中被操纵，因此特别需要保持EFEM内的空气极其清洁。因此，通常从EFEM的上部产生清洁空气的向下流，然而，还是提出通过利用附加方法来防止被颗粒物污染的各种搬运机器人。例如，提出一种这样的搬运机器人，该搬运机器人通过利用罩构件覆盖包括上述的臂主体和升降单元的搬运单元来防止由向下流的扰动而分散的颗粒物的附着(例如，参见日本专利特开公报H10-261690)。然而，常规的搬运机器人在抑制由升降操作产生的颗粒物方面具有进一步改进的余地。具体地，当搬运机器人具有其中上述升降单元借助从搬运机器人的主体单元(以下文中，描述为“基部单元”)突出而升降的结构时，基板可能被因升降操作从基部单元的内部分散的颗粒物污染。考虑到以上内容获得实施方式的一方面，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种搬运机器人和包括该搬运机器人的设备前端模块，所述搬运机器人能够抑制因升降操作而产生颗粒物。
技术实现思路
根据实施方式的一方面的搬运机器人包括:臂单元、基部单元、引导单元、升降单元以及通风部。所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体。所述基部单元形成为大体盒形形状。所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴。所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元。所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。根据所述搬运机器人的一个方面，其中，所述通风部沿着所述升降单元的外周形成在所述基部单元的所述上表面中。根据所述搬运机器人的另一方面，其中，所述升降单元设置成与形成所述基部单元的侧壁之中的一个侧壁相邻，并且所述通风部沿着除所述一个侧壁之外的侧壁形成。根据所述搬运机器人的又一方面，其中，所述通风部由表面中形成有多个孔的罩构件覆盖。根据所述搬运机器人的又一方面，其中，所述通风部是这样的，即:在所述基部单元的所述上表面中与所述引导单元的上部对应的那一部分的宽度被设定成大于在所述基部单元的所述上表面中不与所述引导单元的所述上部对应的部分的宽度。根据所述搬运机器人的又一方面，其中，所述引导单元设置成与形成所述基部单元的侧壁之中的一个侧壁相邻，并且当从上方观看时所述通风部形成为与所述引导单元的一部分重叠。根据所述搬运机器人的又一方面，该搬运机器人还包括排风部，所述排风部包括:风扇，所述风扇设置在所述基部单元的侧壁中；以及排风罩，所述排风罩设置成覆盖所述风扇并且成形为竖直向下地排出来自所述风扇的排出流。根据所述搬运机器人的又一方面，其中，所述排风部设置在位于所述引导单元所邻近的侧壁的相对侧的侧壁中。本技术的另一方面涉及一种设备前端模块，该设备前端模块包括所述搬运机器人。根据实施方式的一方面，能够抑制因升降操作而产生颗粒物。附图说明由于通过结合附图参照下列详细说明更好地理解对本装置的更全面的认识以及本装置的许多附带优点，因此能够容易地获得对本装置的更全面的认识以及本装置的许多附带优点，在附图中:图1是示出根据一实施方式的搬运机器人的整体构造的示意性立体图；图2A是从上方所看的基部单元的第一示意图；图2B是示出从侧表面所看的常规技术和当前实施方式之间的对比的示意图；图2C是从上方所看的基部单元的第二示意图；图3A是从Y轴的正向所看的基部单元的内部示意图；图3B是从Y轴的负向所看的基部单元的示意图；图4A是从X轴的正向所看的基部单元的内部示意图；图4B是从上方所看的基部单元的示意图，用于说明在表面A侧的通风部的宽度；以及图5是从X轴的正向所看的基部单元的内部示意图，示出了所引入的向下流的流路。具体实施方式在下文中，将参照附图详细地说明在本申请中公开的搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块的实施方式。该装置不局限于下列实施方式。在下文中，以设置在EFEM中并且搬运作为待搬运物体的半导体晶片的搬运机器人为例进行说明。此外，“半导体晶片”被描述为“晶片”。而且，作为末端执行器的“机器人手”被描述为“手”。首先，将参照图1说明根据一实施方式的搬运机器人的构造。图1是示出根据该实施方式的搬运机器人10的构造的示意性立体图。为了便于理解说明，在图1中，示出了包括Z轴的三维卡笛尔坐标系，在该Z轴中，正向为竖直向上方向，负向为竖直向下方向。因此，沿着XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情况下，在用于下文说明的其它图中也示出该卡笛尔坐标系。而且，在下文中，对于由多个元件组成的部件，这些元件中的仅一个元件被标以附图标记，并且在一些情况下省略其它元件的附图标记。在该情况下，标记有附图标记的那个元件以及其它元件具有相同的构造。如图1所示，搬运机器人10包括手11、升降单元12、第一臂13、第二臂14和基部单元15。基部单元15包括通风部15a和排风部15b。第一臂13和第二臂14构成作为搬运机器人10的臂的臂单元。基部单元15形成为大体盒形，并且是搬运机器人10的固定到EFEM的底壁部(未示出)的主体。基部单元15不必固定到EFEM的底壁部，并且例如可以固定到侧壁部。而且，基部单元15可以形成为能够沿着设置在EFEM中的行进机构等移动而不固定。通风部15a是开通在基部单元15的上表面中的开口。通风部15a将经由设置在EFEM的上部中的过滤器单元(未示出)形成的清洁空气的向下流引入基部单元15中，以进行通风。此外，排风部15b竖直向下排出从外部通到基部单元15的内部的向下流的排气流。稍后将参照图2A和随后的附图描述通风部15a和排风部15b的详细构造。升降单元12设置成能够沿着竖直地布置在基部单元15中的竖直轴升降(参见图1中的双头箭头al)，并且沿着竖直方向(Z轴方向)升降支承在上端部处的整个臂单元。第一臂13经由绕轴线a2的旋转关节(未示出)连接到升降单元12，以能够相对于升降单元12枢转(参见图1中的绕轴线a2的双头箭头)。第二臂14经由绕轴线a3的旋转关节(未示出)连接到第一臂13，以能够相对于第一臂13枢转(参见图1中的绕轴线a3的双头箭头)。作为保持晶片的末端执行器的手11经由绕轴线a4的旋转关节(未示出)连接到第二臂14，以能够相对于第二臂14枢转(参见图1中的绕轴线a4的双头箭头)。因此，包括手11的整个臂单元沿水平方向移动。上述各旋转关节均根据诸如马达的驱动源的驱动而旋转。例如，使旋转关节绕轴线a2旋转的驱动源设置在形成为包括开通在升降单元12的上表面中的开口 12a的空间中。接下来，将参照图2A和图2C说明基部单元15的详细构造。图2A和图2C是从上方所看的基部单元15的示意图。如参照图1已经说明的,如图2A所示,基部单元15在其上表面中包括通风部15a。通风部15a沿着升降单元12的外周形成。如图2A所示，开口 12a在升降单元12的上表面中设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运机器人，所述搬运机器人包括：臂单元，所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体；基部单元，所述基部单元形成为大体盒形形状；引导单元，所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴；升降单元，所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元；以及通风部，所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。

【技术特征摘要】
2012.06.01 JP 2012-1258471.一种搬运机器人，所述搬运机器人包括: 臂单元，所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体； 基部单元，所述基部单元形成为大体盒形形状； 引导单元，所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴； 升降单元，所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元；以及 通风部，所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述通风部沿着所述升降单元的外周形成在所述基部单元的所述上表面中。3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其中， 所述升降单元设置成与形成所述基部单元的侧壁之中的一个侧壁相邻，并且 所述通风部沿着除所述一个侧壁之外的侧壁形成。4.根据权利要求1、2或3所述的搬运机器人，其中，所述通风部...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，铃木雅之，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：实用新型
国别省市：