搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块制造技术

本实用新型专利技术涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。根据实施方式的搬运机器人包括：臂单元、基部单元、引导单元、升降单元和通风部。所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体。所述基部单元形成为大体盒形形状。所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴。所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元。所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本文所公开的实施方式涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。
技术介绍
常规上，已知有一种搬运机器人，该搬运机器人设置在形成于设备前端模块(EFEM)中的空间内并且搬运诸如半导体晶片的基板。搬运机器人通常包括臂主体，并且例如通过在由臂主体保持基板的情况下沿水平方向移动臂主体以及移动设置在臂主体的末端部处的末端执行器来搬运基板。臂主体自身通常由能够执行升降操作的升降单元来支承。因为诸如半导体晶片的产品在EFEM中被操纵，因此特别需要保持EFEM内的空气极其清洁。因此，通常从EFEM的上部产生清洁空气的向下流，然而，还是提出通过利用附加方法来防止被颗粒物污染的各种搬运机器人。例如，提出一种这样的搬运机器人，该搬运机器人通过利用罩构件覆盖包括上述的臂主体和升降单元的搬运单元来防止由向下流的扰动而分散的颗粒物的附着(例如，参见日本专利特开公报H10-261690)。然而，常规的搬运机器人在抑制由升降操作产生的颗粒物方面具有进一步改进的余地。具体地，当搬运机器人具有其中上述升降单元借助从搬运机器人的主体单元(以下文中，描述为“基部单元”)突出而升降的结构时，基板可能被因升降操作从基部单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运机器人，所述搬运机器人包括：臂单元，所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体；基部单元，所述基部单元形成为大体盒形形状；引导单元，所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴；升降单元，所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元；以及通风部，所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。

【技术特征摘要】
2012.06.01 JP 2012-1258471.一种搬运机器人，所述搬运机器人包括: 臂单元，所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体； 基部单元，所述基部单元形成为大体盒形形状； 引导单元，所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴； 升降单元，所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元；以及 通风部，所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述通风部沿着所述升降单元的外周形成在所述基部单元的所述上表面中。3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其中， 所述升降单元设置成与形成所述基部单元的侧壁之中的一个侧壁相邻，并且 所述通风部沿着除所述一个侧壁之外的侧壁形成。4.根据权利要求1、2或3所述的搬运机器人，其中，所述通风部...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，铃木雅之，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：实用新型
国别省市：