基于位移传感器的二维微动台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于位移传感器的二维微动台，包括二维驱动工作台、二维位移传感器及连接板，二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台、压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。本实用新型专利技术二维微动台器行程大，可实现全闭环控制，其具有结构紧凑、体积小、集成度高、精度高的特点，同时在二维检测方面实现了有效的解耦，所以此种结构的微动台的应用会越来越广泛。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及二维微动台
，特别是涉及一种基于位移传感器的二维微动台。
技术介绍
微驱动技术是微机电系统研究的重要内容，应用于精密自动控制与微细操作等领域，直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平的关键环节，在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。微驱动机器人在微零件装配、微机电系统(MEMS)、医学、精密光学等领域有着广泛的应用前景。而微驱动台作为微装配机器人的核心执行部分，直接决定机器人的工作效果。研究具有微位移反馈检测功能的微动台是微驱动机器人研究中的一个重点和难点。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种基于位移传感器的二维微动台。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了 一种集成度高、结构紧凑、并且具有精确位移反馈功能的基于位移传感器的二维微动台。为了实现上述目的，本技术实施例提供的技术方案如下:—种基于位移传感器的二维微动台，所述二维微动台包括二维驱动工作台和位于二维驱动工作台上的二维位移传感器，所述二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台以及位于传感器连接台外侧的压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，所述压电陶瓷放置区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于位移传感器的二维微动台，其特征在于，所述二维微动台包括二维驱动工作台和位于二维驱动工作台上的二维位移传感器，所述二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台以及位于传感器连接台外侧的压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，所述压电陶瓷放置区与杠杆放大机构、杠杆放大机构与微动台基体、杠杆放大机构与传感器连接台通过支撑柔性梁固定连接，所述二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与所述传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。

【技术特征摘要】
1.一种基于位移传感器的二维微动台，其特征在于，所述二维微动台包括二维驱动工作台和位于二维驱动工作台上的二维位移传感器，所述二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台以及位于传感器连接台外侧的压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，所述压电陶瓷放置区与杠杆放大机构、杠杆放大机构与微动台基体、杠杆放大机构与传感器连接台通过支撑柔性梁固定连接，所述二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与所述传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。2.根据权利要求1所述的二维微动台，其特征在于，所述传感器梳齿检测区设有若干梳齿组，梳齿组包括与传感器基体相连的静齿组和与连接块相连的动齿组。3.根据权利要求2所述的二维微动台，其特征在于，所述动齿组与连接块之间通过若干柔性梁固定连接。4.根据权利要求2所述的二维微动台，其特征在于，所述梳齿组包括若干相对垂直设置的X向梳齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛，潘明强，刘吉柱，王阳俊，陈立国，汝长海，孙立宁，李伟达，李娟，张锋锋，李春光，胡海燕，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：实用新型
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