薄膜沉积设备和薄膜沉积系统技术方案

本发明专利技术公开了一种薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备使得基板和沉积掩膜的布置/对准时间的处理等待时间最短。为此，所述薄膜沉积设备包括：室，该室具有反应空间；第一基板保持件和第二基板保持件，在所述室中，在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件之间设置有用于接收基板的空间；沉积源，该沉积源设置在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件之间，以向所述第一基板保持件和所述第二基板保持件供应沉积材料；以及固定单元，当所述基板被接收在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件中时，该固定单元将所述第一基板保持件和所述第二基板保持件放置在所述室中的预定位置。因而，能够实现基板和掩膜的稳定对准。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及膜沉积设备，并且更具体地涉及用于在基板上沉积膜的膜沉积设备和膜沉积系统。
技术介绍
作为自发光装置的有机发光二极管(OLED)不需要背光源并且比IXD更加节能。此夕卜，由于OLED具有广视角和高响应速度，因此利用OLED形成的显示器能够显示既不具有视角问题也不具有余像问题的高质量图像。这样的OLED 通过将多个膜(例如有机膜或金属膜)堆叠在玻璃基板上来制造。为了沉积多个膜，常规上，主要使用聚类方法，在该聚类方法中，在绕圆形输送室布置并且连接到该圆形输送室的多个单元室中执行一系列単元处理。在聚类方法中，玻璃基板在这些室之间以水平位置被输送并且然后经受装置处理。聚类方法能够连续且快速地执行一系列处理，并且因为聚类方法允许容易更换主要用于制造OLED的沉积掩膜，因此该聚类方法也是有利的。近来，基于利用精细金属掩膜(FMM)在大型基板上顺序地形成蓝色(B)、緑色(G)和红色(R)发光层的所谓三色独立像素方案的OLED已引人关注。三色独立像素方案实现有优良的色纯度和光效率并且还是成本有效的。然而，由于三色独立像素方案必须在独立的处理室中顺序地形成蓝色(B)、绿色(G)和红色(R本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.10 KR 10-2010-00550201.一种膜沉积设备，该膜沉积设备包括: 室，在该室中形成有反应空间； 第一基板保持件和第二基板保持件，所述第一基板保持件和所述第二基板保持件构造成在其内容纳基板并且所述第一基板保持件和所述第二基板保持件彼此间隔开； 沉积源，该沉积源设置在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件之间，以向基板供应沉积材料；以及 固定单元，当所述基板分别容纳在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件中时，该固定单元使得所述第一基板保持件和所述第二基板保持件固定在所述室中的预定位置处达预定时间。2.根据权利要求1所述的膜沉积设备，其中，所述第一基板保持件和所述第二基板保持件将所述基板支承为相对于地面垂直。3.根据权利要求2所述的膜沉积设备，其中，所述固定单元包括: 固定部，该固定部构造成允许从所述第一基板保持件的底部和所述第二基板保持件的底部向上插入；以及 升降部，当所述第一基板保持件和所述第二基板保持件被固定在所述预定位置时，该升降部的至少一部分插入所述固定部中或者从所述固定部抽出。4.根据权利要求3所述的膜沉积设备，该膜沉积设备还包括行进控制单元，该行进控制单元用于限制所述第一基板保持件和所述第二基板保持件沿一方向的行进。5.根据权利要求4所述的膜沉积设备，其中，所述行进控制单元包括: 引导部，该引导部定位成与所述第一基板保持件和所述第二基板保持件各自的两侧相邻，以引导所述第一基板保持件和所述第二基板保持件的运动；以及 驱动部，该驱动部使得所述引导部靠近或远离所述第一基板保持件和所述第二基板保持件移动。6.根据权利要求5所述的膜沉积设备，其中，所述引导部是布置在所述第一基板保持件和所述第二基板保持件各自的两侧的多个辊。7.根据权利要求2所述的膜沉积设备，其中，所述第一基板保持件和所述第二基板保持件均...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜敞晧，权铉九，玄在根，
申请(专利权)人：SNU精密股份有限公司，
类型：
国别省市：