镀膜修正板及其组装方法技术

本发明专利技术提供一种镀膜修正板，其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸，该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片。该铝箔纸沿该基片及该至少一个翼片的外轮廓包裹该基片及该至少一个翼片。如此，可以避免人工剪裁对该镀膜修正板的形状的影响，提高镀膜质量及效率，且可改变该修正镀膜板的形状，以适用不同的需求。另外，本发明专利技术还提供一种镀膜修正板的组装方法。

【技术实现步骤摘要】
镀膜修正板及其组装方法
本专利技术涉及镀膜技术，特别涉及一种镀膜修正板及其组装方法。
技术介绍
镀膜机包括坩埚及相对于坩埚设置的伞架。伞架形成有从中心到边缘的多圈收容孔，每个收容孔收容一个或多个待镀膜工件。镀膜时，坩埚内的材料蒸发后被电子束轰击并与反应气体反应后附着于待镀膜工件形成膜层，而伞架转动以使同一圈收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同，从而使同一圈收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。然而，一般地，正对坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度大于偏离坩埚的几圈收容孔内的膜层气体浓度，导致不同圈的收容孔内的待镀膜工件上的膜层厚度不均，影响镀膜质量。为此，可采用镀膜修正板进行修正。镀膜修正板设置于坩埚与伞架之间，且正板正对坩埚的部分宽度较大而偏离坩埚的部分宽度较小，如此，到达正对镀膜源的几圈收容孔的膜层气体虽然浓度较大但较大部分被遮挡而到达偏离镀膜源的几圈收容孔的镀膜气体虽然浓度较小但较小部分被遮挡，使得不同圈的收容孔内的待镀膜工件获得的膜层气体基本相同，从而从而使不同圈的收容孔内的待镀膜工件的膜层厚度基本相同。镀膜修正板一般包括基板及铝箔纸。目前，镀膜修正板的形状可以取决于基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜修正板，其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸，该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片，该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包裹该基片及组装于该基片的翼片。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜修正板，其包括一个基片、至少一个长度不同的翼片及一个铝箔纸，该基片包括多个固定柱，该至少一个翼片可拆卸地、可转动地组装于该基片，该铝箔纸沿该基片及组装于该基片的翼片的外轮廓包裹该基片及组装于该基片的翼片，该多个固定柱及该至少一个翼片成对组装，每对固定柱分布于该基片两个长边缘的相对位置，每对翼片的大小及形状相同并组装于对应一对固定柱。2.如权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，每个翼片形成有一个与该固定柱匹配的固定孔，每个翼片通过对应的固定孔与对应的固定柱配合组装于该基片。3.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于，该多个翼片组装于部分或者全部固定柱。4.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于，该基片呈矩形状，该多个固定柱线性等距分布于该基片的两个长边缘。5.一种镀膜修正板的组装方法，其包括：提供一个基片、多个长度不同的翼片及...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴绍凯，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：