【技术实现步骤摘要】
本技术属于光学检测领域,特别是一种在微通道板镀膜过程中用来校正镀膜角度的微通道板镀膜校正装置。
技术介绍
微通道板是于20世纪60年代末开发成功的一种简单紧凑的电子倍增器件,可以探测带荷粒子、电子、X射线和UV光子,是二代及以上微光像增强器的核心元件,二代微光像增强器(具有微通道板)与一代像增强器的根本区别就在于有微通道板,主要靠微通道板来实现电子倍增,极大地提高了微光像增强器的各项性能。微通道板的主要特性就是具有高增益特性,所以如何稳定和提高增益是关键问题。微通道板的外形如一片聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片,每一空心管通道的作用犹如一个连续的打拿极倍增器,薄片两端面镀有镍铬金属薄膜(电极)。微通道板本身带有5 15°的斜切角,所以在镀电极的时候必须考虑到这个角度对电极深度的影响,电极深度的一致性直接影响到微通道板的增益、分辨率等性能,因此需要尽量保证微通道板镀膜时电极深度的一致性。实际操作过程中,由于微通道板有一定的斜切角,因此微通道板放在水平面时,微通道所包含的通道与水平面也就带有一定的角度,这样镀膜时通道壁所镀上的电极深度就不一致。目前微通道板输入端电极深度为O. 5D—O. 8D(D:微孔孔径),输出端电极深度1. 5D—2. 0D,传统的校正方法是在镀电极前,通过直接观察电极缺口,将装载MCP的夹具按照一定的角度固定在斜块上,从而提高电极深度的一致性。此方法虽然有一定的效果,但是精度较差,受人为因素影响较大,对产品的质量性能有一定的影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种根据现在微通道板镀膜工艺中蒸镀电极深度一致性难以保证的不足,设计 ...
【技术保护点】
一种微通道板镀膜校正装置,其特征在于:包括激光管支架(1),激光管(2),镀膜夹具(5),校正斜块(6),斜块支架(7),其中,激光管(2)固定在支架(1)内,镀膜夹具(5)放置在校正斜块(6)中,校正斜块(6)卡在斜块支架(7)内。
【技术特征摘要】
1.一种微通道板镀膜校正装置,其特征在于包括激光管支架(1),激光管(2),镀膜夹具(5),校正斜块(6),斜块支架(7),其中,激光管(2)固定在支架(I)内,镀膜夹具(5)放置在校正斜块(6 )中,校正斜块(6 )卡在斜块支架(7 )内。2.根据权利要求1所述的一种微通道板镀膜校正装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡松,苏德坦,孙建宁,绍爱飞,张正君,李冬,王健,缪慧敏,孙赛林,赵慧明,
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司南京分公司,
类型:实用新型
国别省市:
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