微通道板镀膜校正装置制造方法及图纸

技术编号:8639714 阅读:322 留言:0更新日期:2013-04-27 23:52
本实用新型专利技术公开了一种微通道板镀膜校正装置,包括激光管支架,激光管,镀膜夹具,校正斜块,斜块支架,其中,激光管固定在支架内,镀膜夹具放置在校正斜块中,校正斜块卡在斜块支架内;本实用新型专利技术能使微通道板的通道在镀膜过程中可以调整到精确的垂直角度,从而克服之前调整角度精确性差,受人为因素影响大的缺陷,使得微通道板镀的电极深度满足技术要求。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学检测领域,特别是一种在微通道板镀膜过程中用来校正镀膜角度的微通道板镀膜校正装置
技术介绍
微通道板是于20世纪60年代末开发成功的一种简单紧凑的电子倍增器件,可以探测带荷粒子、电子、X射线和UV光子,是二代及以上微光像增强器的核心元件,二代微光像增强器(具有微通道板)与一代像增强器的根本区别就在于有微通道板,主要靠微通道板来实现电子倍增,极大地提高了微光像增强器的各项性能。微通道板的主要特性就是具有高增益特性,所以如何稳定和提高增益是关键问题。微通道板的外形如一片聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片,每一空心管通道的作用犹如一个连续的打拿极倍增器,薄片两端面镀有镍铬金属薄膜(电极)。微通道板本身带有5 15°的斜切角,所以在镀电极的时候必须考虑到这个角度对电极深度的影响,电极深度的一致性直接影响到微通道板的增益、分辨率等性能,因此需要尽量保证微通道板镀膜时电极深度的一致性。实际操作过程中,由于微通道板有一定的斜切角,因此微通道板放在水平面时,微通道所包含的通道与水平面也就带有一定的角度,这样镀膜时通道壁所镀上的电极深度就不一致。目前微通道板输入端电极深度为O. 5D—O. 8D(D:微孔孔径),输出端电极深度1. 5D—2. 0D,传统的校正方法是在镀电极前,通过直接观察电极缺口,将装载MCP的夹具按照一定的角度固定在斜块上,从而提高电极深度的一致性。此方法虽然有一定的效果,但是精度较差,受人为因素影响较大,对产品的质量性能有一定的影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种根据现在微通道板镀膜工艺中蒸镀电极深度一致性难以保证的不足,设计的使镀膜过程中微通道板的通道可以调整到精确的垂直角度,从而克服之前调整角度精确性差`,受人为因素影响大的缺陷,使得微通道板镀的电极深度满足技术要求的微通道板镀膜校正装置。实现本技术目的的技术解决方案为一种微通道板镀膜校正装置,其特征在于包括激光管支架,激光管,镀膜夹具,校正斜块,斜块支架,其中,激光管固定在支架内,镀膜夹具放置在校正斜块中,校正斜块卡在斜块支架内。本技术与现有技术相比,其显著优点本技术能使微通道板的通道在镀膜过程中可以调整到精确的垂直角度,从而克服之前调整角度精确性差,受人为因素影响大的缺陷,使得微通道板镀的电极深度满足技术要求。以下结合附图对本技术作进一步详细描述。附图说明图1是本技术装置的结构示意图。图2是本技术的校正斜块的结构示意图。具体实施方式本技术一种微通道板镀膜校正装置,包括激光管支架1,激光管2,镀膜夹具5,校正斜块6,斜块支架7,其中,激光管2固定在支架I内,镀膜夹具5放置在校正斜块6中,校正斜块6卡在斜块支架7内。其中,校正斜块6为有一定角度的圆环状金属夹具,该角度与微通道板4的斜切角度数相同,在校正斜块6的一侧设置有螺丝口 10。该装置上设置有开关9,且激光管支架1,激光管2,斜块支架7和开关9为一个固定整体。校正前,将微通道板4放置在镀膜夹具5内,并将镀膜夹具5放置在校正斜块6中,将校正斜块6卡在斜块支架7内。校正时,打开激光管开关9,激光束3垂直照在通道板上并且穿过微通道板打在激光架底座11上。通过转动放置在校正斜块6内的镀膜夹具5,使得投射在激光夹底座11上的光斑8最亮,此时的微通道板4校正角度最好,微通道板4的通道完全垂直于平面。本技术通过实际应用证明完全达到设计目的,MCP的输出电极深度得到了很好的控制,两端误差控制在O. 2d以内,制管后的分辨率由之前的571p/mm提高到现在的601p/mm 以上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微通道板镀膜校正装置,其特征在于:包括激光管支架(1),激光管(2),镀膜夹具(5),校正斜块(6),斜块支架(7),其中,激光管(2)固定在支架(1)内,镀膜夹具(5)放置在校正斜块(6)中,校正斜块(6)卡在斜块支架(7)内。

【技术特征摘要】
1.一种微通道板镀膜校正装置,其特征在于包括激光管支架(1),激光管(2),镀膜夹具(5),校正斜块(6),斜块支架(7),其中,激光管(2)固定在支架(I)内,镀膜夹具(5)放置在校正斜块(6 )中,校正斜块(6 )卡在斜块支架(7 )内。2.根据权利要求1所述的一种微通道板镀膜校正装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡松苏德坦孙建宁绍爱飞张正君李冬王健缪慧敏孙赛林赵慧明
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司南京分公司
类型:实用新型
国别省市:

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