一种检测微通道板暗计数的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种检测微通道板暗计数的装置，包括用于测试MCP性能的真空腔室、电极引线、光子计数成像探测器、电子读出电路、数据采集与处理单元以及电源；光子计数成像探测器设置在真空腔室内；电子读出电路、数据采集与处理单元依次与真空腔室连接；电源与电极引线、光子计数成像探测器连接。本实用新型专利技术检测微通道板暗计数的装置，利用“光子计数成像技术”能够同时得到MCP暗计数的数量、位置分布和脉冲高度分布（PHD）等信息，为光子计数成像探测、粒子探测和微光成像等应用提供筛选低噪声MCP的技术。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种检测微通道板暗计数的装置
本技术涉及电子、离子和带电粒子等的探测与成像领域，尤其涉及一种检测微通道板暗计数的装置。
技术介绍
微通道板(MCP)是一种薄片式结构的能实现二维成像探测的真空电子倍增器件，它利用固体的二次电子发射特性来实现电子倍增。MCP可用来探测从近红外到X射线波段的光辐射，也可以用于直接倍增带电粒子、电子、离子以及宇宙射线等，具有高增益、低功耗、高分辨率、快响应以及低噪声等优点。采用MCP可构成多种形式的成像探测器，例如光子计数成像探测、粒子探测和微光夜视成像等领域。由于MCP主要用于对微弱信号的探测和成像，对MCP的性能就提出了一定的要求，一般要求所选用的MCP具有高增益和低暗计数。目前，国内相关MCP研制生产单位对于增益都有一个比较成熟的测量方法，但对于暗计数指标并没有一个较准确的数据，一般都通过暗电流来表示MCP的暗噪声。通过暗电流来表示MCP的暗噪声有两个缺点:1)受限于电流计的精度，电流计对暗电流的测试有一个最小检出限。如果暗电流低于检出限，通过电流计就无法知道暗电流的确切值。但实际应用中，此时暗计数或许已经对光子计数成像探测器造成了严重的影响；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测微通道板暗计数的装置，其特征在于：包括用于测试MCP性能的真空腔室、电极引线、光子计数成像探测器、电子读出电路、数据采集与处理单元以及电源；所述光子计数成像探测器设置在真空腔室内；电子读出电路、数据采集与处理单元依次与真空腔室连接；电源与电极引线、光子计数成像探测器连接。

【技术特征摘要】
1.一种检测微通道板暗计数的装置，其特征在于:包括用于测试MCP性能的真空腔室、电极引线、光子计数成像探测器、电子读出电路、数据采集与处理单元以及电源；所述光子计数成像探测器设置在真空腔室内；电子读出电路、数据采集与处理单元依次与真空腔室连接；电源与电极引线、光子计数成像探测器连接。2.根据权利要求1所述的检测微通道板暗计数的装置，其特征在于:所述光子计数成像探测器包括微通道板组件和位置灵敏阳极；位置灵敏阳极位于微通道板组件单元的输出端；所述位置灵敏阳极与电极引线以及电源连接。3.根据权利要求2所述的检测微通道板暗计数的装置，其特征在于:微通道板组件单元采用2块MCP “V”形级联。4.根据权利要求3所述的检测微通道板暗计数的装置，其特征在于:位置灵敏阳极包括绝缘衬底和镀在绝缘衬底上的金属导体。5.根据权利要求4所述的检测微通道板暗计数的装置，其特征在于:位置灵敏阳极的结构包括但不限于楔条形阳极、游标阳极、电阻型阳极。6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘永安，盛立志，刘哲，李林森，赵宝升，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西;61