【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种分散板，用于镀膜装置，其中，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许修齐，钟尚骅，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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