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本发明公开了一种分散板及具有该分散板的镀膜装置，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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