【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镀膜修正板及镀膜装置。
技术介绍
现有的蒸镀设备一般包括一个蒸镀源及一个设置于蒸镀源上方用来承载被镀件的伞状的承载架。蒸镀时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚，而位于上层圈(靠近承载架中心)的被镀件与位于下层圈(靠近承载架边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此，蒸镀设备通常还包括一个设置于承载架与蒸镀源之间的镀膜修正板，用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，各种被镀件对镀膜修正板的形状的要求也不同。通常一种被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板，这种镀膜修正板不能适用多种被镀件，通用性差。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种通用性佳的镀膜修正板及使用该镀膜修正板的镀膜装置。一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件。所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓。所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。一种镀膜装置,包括一个中空的镀膜室、一个安装于所述镀膜室的承载架、一个安装于所述镀膜室且与所述承载架相对设置的蒸镀源及至少一个设置于所述承载架与所述蒸镀源之间的镀膜修正板。 每个所述镀膜修正板包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件。所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓。所述调整元件用于驱动...
【技术保护点】
一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件；所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓；所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件；所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓；所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。2.按权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于:还包括一个安装杆、所述安装杆呈长条状并包括一个第一端部；所述两个遮挡片安装在所述第一端部上。3.按权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于:所述第一端部开设有一个螺孔，所述调整元件为一个螺丝，所述调整元件包括一个与所述螺孔对应的螺纹部及连接至所述螺纹部的凸轮状的头部，所述调整元件旋转时，所述头部与所述两个遮挡片相抵靠以驱动所述两个遮挡片相对转动。4.按权利要求3所述的镀膜修正板，其特征在于:所述安装杆及两个遮挡片均由金属制成，每个遮挡片均延伸设有一个弹性臂，所述每个遮挡片的弹性臂焊接至所述第一端部。5.按权利要求4所述的镀膜修正板，其特征在于:每个遮挡片还包括一个平面状的第一侧面，所述两个遮挡片的两个第一侧面相对；所述头部包括一个与所述两个第一侧面垂直的操作面、一对平面状的且垂直于所述操作面的第一配合面及一对弧形的连接于所述一对第一配合面之间的第二配合面；所述第二配合面之间的距离大于所述第一配合面之间的距离；当旋转所述头部使所述两个第一侧面平行于所述一对第一配合面时，所述两个第一侧面之间的距离对应于所述一对第一配合面之间的距离，所述两个遮挡片的弹性臂处于自然状态不发生变形。6.按权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于:所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件，当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时，所述弹性元件提供一个驱使所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴绍凯，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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