薄膜沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种薄膜沉积设备。该设备包括：沉积源，其存储沉积材料并将沉积材料排放到玻璃面板上；温度控制器，其设置成邻近玻璃面板，并控制玻璃面板的温度或玻璃面板附近区域的温度；以及隔间，其包含沉积源和温度控制器。温度控制器将玻璃面板和玻璃面板附近区域的温度维持在适当温度，从而引导沉积材料有效率地沉积到玻璃面板上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的沉积效率和均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体涉及具有改进的沉积效率的薄膜沉积设备，更具体地涉及这样一种薄膜沉积设备，在该薄膜沉积设备中，维持玻璃面板或玻璃面板附近区域的适当温度的温度控制器设置在一隔间(booth)中，从而沉积材料能够高效地沉积到玻璃面板上，并且改善了形成在玻璃面板的沉积表面上的薄膜的均匀度。
技术介绍
通常，有机发光二极管(OLED)是作为下一代显示装置而引起广泛关注的自发光装置。OLED具有很多优点，诸如，比相片(photograph)质量更高的图像质量、宽视角、几乎没有死视角、减小为LCD的1/3的厚度、低功耗以及大约是LCD的1/1000的快速响应时间。因此,利用OLED来产生高质量的视频等。在具有上述特征的OLED中，空穴从阳极传输至空穴传输层，而电子从阴极传输至电子传输层。空穴和电子在设置于空穴传输层与电子传输层之间的发光层中彼此重新结合，从而产生电子空穴对(激子)。得自于电子空穴对的能量产生特定波长的光。典型地，有机薄膜层(诸如空穴传输层、发光层、电子传输层等)的形成包括在高真空隔间中使坩埚(crucible)中所包含的有机材料蒸发以及将蒸发的有机材料沉积到玻璃面板上。例如，如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜沉积设备，包括：至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到玻璃面板上；至少一个温度控制器，设置成邻近所述玻璃面板，以控制所述玻璃面板的温度或所述玻璃面板的附近区域的温度；以及至少一个隔间，每个所述隔间均包含沉积源和所述温度控制器。

【技术特征摘要】
2011.10.26 KR 10-2011-01096171.一种薄膜沉积设备，包括: 至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到玻璃面板上； 至少一个温度控制器，设置成邻近所述玻璃面板，以控制所述玻璃面板的温度或所述玻璃面板的附近区域的温度；以及至少一个隔间，每个所述隔间均包含沉积源和所述温度控制器。2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其中，所述温度控制器包括: 冷却/加热件，设置成邻近所述玻璃面板；以及 温度控制单元，控制所述冷却/加热件的温度。3.根据权利要求2所述的薄膜沉积设备，其中，所述沉积源设置在所述隔间的底表面上，并且所述冷却/加热件设置在所述隔间的顶表面下方， 其中，所述玻璃面板设置在所述沉积源与所述冷却/加热件之间。4.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的面积对应于所述隔间的顶表面的面积。5.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的长度对应于所述隔间的长度或宽度。6.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的面积对应于所述玻璃面板的面积。7.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述冷却/加热件的长度对应于所述述玻璃面板的长度或宽 度。8.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，所述薄膜沉积设备包括数量设置成与所述冷却/加热件的数量相对应的沉积源。9.根据权利要求2或3所述的薄膜沉积设备，其中，为了降低所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，在所述温度控制单元的控制下对所述冷却/加热件进行冷却，并且为了提高所述玻璃面板或所述玻璃面板的所述附近区域的温度，利用所述隔间的大气中所产生的热。10.根据权利要求2或3...

【专利技术属性】
技术研发人员：马浩烈，李载昱，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：