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本发明公开了一种薄膜沉积设备。该设备包括：沉积源，其存储沉积材料并将沉积材料排放到玻璃面板上；温度控制器，其设置成邻近玻璃面板，并控制玻璃面板的温度或玻璃面板附近区域的温度；以及隔间，其包含沉积源和温度控制器。温度控制器将玻璃面板和玻璃面板...
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