旋转式沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种旋转式沉积设备，其包括：至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一个第一旋转装置，旋转玻璃面板保持架；至少一个沉积源，存储沉积材料，沉积源将沉积材料排放到玻璃面板上；以及至少一个隔间，隔间中包含玻璃面板保持架、第一旋转装置和沉积。本发明专利技术能够显著地提高通常比玻璃面板中心部位的均匀度差的玻璃面板周缘上的薄膜的均匀度。此外，可将玻璃面板与沉积源之间的距离调节至最优距离，使得薄膜能够以较高的沉积效率均匀地形成在玻璃面板上。而且，在多个隔间顺序地一个接一个地连接的直线型布置结构的情况中，形成不同种类薄膜的有机材料分别布置在各个隔间中，因此防止了有机材料的交叉污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体涉及旋转式沉积设备，更具体地，涉及一种被构造成使得玻璃面板和/或沉积源的喷嘴单元旋转的旋转式沉积设备，从而改进形成在玻璃面板上的薄膜的均匀度。
技术介绍
通常，有机发光二极管(OLED)是作为下一代显示装置而引起广泛关注的自发光装置。OLED具有很多优点，诸如，比相片(photograph)质量更高的图像质量、宽视角、几乎没有死视角(dead viewing angle)、减小为LCD的1/3的厚度、低功耗以及大约是IXD的1/1000的快速响应时间。因此，利用OLED来产生高质量的视频等。在具有上述特征的OLED中，空穴从阳极传输至空穴传输层，而电子从阴极传输至电子传输层。空穴和电子在设置于空穴传输层与电子传输层之间的发光层中彼此重新结合，从而产生电子空穴对(激子)。得自于电子空穴对的能量产生特定波长的光。典型地，有机薄膜层(诸如空穴传输层、发光层、电子传输层等)的形成包括:在高真空隔间(booth)中使坩埚(crucible)中所包含的有机材料蒸发，以及将蒸发的有机材料沉积到玻璃面板上。如图1所示，在传统技术中，将不同种类的有机材料供应到设置在单个隔间10中的沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转式沉积设备，包括：至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一个第一旋转装置，旋转所述玻璃面板保持架；至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到所述玻璃面板上；以及至少一个隔间，所述隔间中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋转装置和所述沉积源。

【技术特征摘要】
2011.10.26 KR 10-2011-01096181.一种旋转式沉积设备，包括: 至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板； 至少一个第一旋转装置，旋转所述玻璃面板保持架； 至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到所述玻璃面板上；以及 至少一个隔间，所述隔间中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋转装置和所述沉积源。2.根据权利要求1所述的旋转式沉积设备，进一步包括:至少一个喷嘴单元，连接至所述沉积源，所述喷嘴单元包括多个喷嘴，使得所述沉积材料通过所述喷嘴排放到所述玻璃面板上；以及 至少一个第二旋转装置，使所述喷嘴单元旋转， 其中，所述第二旋转装置使所述喷嘴单元沿与所述玻璃面板保持架的旋转方向相反的方向旋转。3.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述隔间包括多个沉积源，每个沉积源存储不同种类的沉积材料。4.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括多个隔间，每个隔间均包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。5.根据权利要求1至2中任一项所述的旋转式沉积设备，其中，所述旋转式沉积设备包括以直线型布置方式顺序地一个接一个地连接的多个隔间。6.根据权利要求5所述的旋转式沉积设备，其中，每个所述隔间包含沉积源和玻璃面板保持架，并且各个隔间的各个沉积源存储不同种类的沉积材料。7.根据权利要求1至2中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马浩烈，李载昱，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：